[发明专利]嵌入柔性衬底的ZnO微米线阵列紫外探测器的制备方法

权利要求书

1.一种嵌入柔性衬底的ZnO微米线阵列紫外探测器的制备方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

S1、对石英试管和石英舟进行清洗烘干预处理；

S2、称取纯度为99.99％的锌粉5-10克，均匀平铺在洗净的石英舟底部并将石英舟放置在石英试管中，将石英试管置于管式炉中间的高温区域；

S3、将管式炉以升温速率10-15℃/min升温至990℃，并在管式炉升温过程中持续以流速15-20ml/min通入高纯氮气作为保护气，当管式炉升温到该温度后，停止通入氮气，并开始以流速15-20ml/min通入高纯氧气，保持该温度1-1.5h；

S4、关闭管式炉，冷却至室温后，取出石英试管中的氧化锌微米线待用；

S5、对透明玻璃衬底进行清洗烘干预处理；

S6、将经过预处理后的透明玻璃衬底置于真空手套箱操作台上，将氧化锌微米线转移到透明玻璃衬底上排列整齐，使之与衬底充分接触贴合，逐滴滴入1-2mlPVAL胶水覆盖氧化锌微米线阵列表面后，放入60-65℃的干燥箱保持1-1.5h；

S7、将凝固的PVAL薄膜从透明玻璃衬底上剥离，在氧化锌微米线阵列表面沉积金叉指电极，所述叉指指宽为100μm，间距为100μm，厚度为100μm，完成ZnO微米线阵列紫外探测器的制备。

2.根据权利要求1所述嵌入柔性衬底的ZnO微米线阵列紫外探测器的制备方法，其特征在于：步骤S1依次采用蒸馏水、丙酮、乙醇分别对石英试管和石英舟进行超声清洗，烘干后待用。

3.根据权利要求1所述嵌入柔性衬底的ZnO微米线阵列紫外探测器的制备方法，其特征在于：步骤S5依次采用蒸馏水、丙酮、乙醇对透明玻璃衬底进行超声清洗后使用氮气气流吹干，吹干后置于紫外臭氧机中处理30min。

4.根据权利要求1所述嵌入柔性衬底的ZnO微米线阵列紫外探测器的制备方法，其特征在于：所述金叉指电极使用不锈钢叉指电极作为掩膜版，共5对叉指。

5.根据权利要求1所述嵌入柔性衬底的ZnO微米线阵列紫外探测器的制备方法，其特征在于：步骤S2中，称取纯度为99.99％的锌粉7克。

6.根据权利要求1所述嵌入柔性衬底的ZnO微米线阵列紫外探测器的制备方法，其特征在于：步骤S3中，将管式炉以升温速率10-15℃/min升温至990℃，并在管式炉升温过程中持续以流速15ml/min通入高纯氮气作为保护气，当管式炉升温到该温度后，停止通入氮气，并开始以流速15ml/min通入高纯氧气，保持该温度1h。

7.根据权利要求1所述嵌入柔性衬底的ZnO微米线阵列紫外探测器的制备方法，其特征在于：步骤S6中，逐滴滴入2mlPVAL胶水覆盖氧化锌微米线阵列表面后，放入60℃的干燥箱保持1h。

8.根据权利要求1所述嵌入柔性衬底的ZnO微米线阵列紫外探测器的制备方法，其特征在于：所述透明玻璃衬底能够替换为蓝宝石衬底或者石英衬底。

9.一种嵌入柔性衬底的ZnO微米线阵列紫外探测器，其特征在于，所述紫外探测器采用上述权利要求1-8的制备方法制备获得。