[发明专利]一种H2SO4/S2O82-微蚀刻废液的铜回收及同步再生微蚀刻液系统及方法

权利要求书

1.一种H₂SO₄/S₂O₈^2-微蚀刻废液的铜回收及同步再生微蚀刻液装置，其特征在于，包括第一电解槽(1)，所述第一电解槽(1)内设有将所述第一电解槽(1)分隔为阳极室(2)和阴极室(3)的离子交换膜(4)，所述阳极室(2)内设有供微蚀刻废液中的硫酸根离子在其表面发生电化学氧化反应的阳极件(5)，所述阴极室(3)设有供微蚀刻废液中的铜离子在其表面发生电化学还原反应的阴极件(6)，所述阳极件(5)和阴极件(6)之间连接有第一电源(7)。

2.根据权利要求1所述的一种H₂SO₄/S₂O₈^2-微蚀刻废液的铜回收及同步再生微蚀刻液装置，其特征在于，所述阳极件(5)为具有高析氧电位的贵金属铂、掺硼金刚石电极、石墨电极、复合有稀土元素的钛基片或铌基片、IrO₂电极、RuO₂电极、TiO₂电极、PbO₂/TiO₂电极、SnO₂电极中的任意一种。

3.根据权利要求1所述的一种H₂SO₄/S₂O₈^2-微蚀刻废液的铜回收及同步再生微蚀刻液装置，其特征在于，所述阴极件(6)为铜片、不锈钢片、铅电极、铅锑合金片、石墨电极、钛电极、复合有过渡金属元素的钛基板中的任意一种。

4.根据权利要求1所述的一种H₂SO₄/S₂O₈^2-微蚀刻废液的铜回收及同步再生微蚀刻液装置，其特征在于，所述阳极室(2)连通有补充微蚀刻液循环再生过程中损失组分的调节装置(8)。

5.根据权利要求1所述的一种H₂SO₄/S₂O₈^2-微蚀刻废液的铜回收及同步再生微蚀刻液装置，其特征在于，所述第一电解槽(1)连通有对所述第一电解槽(1)进行降温的冷却装置(9)。

6.一种H₂SO₄/S₂O₈^2-微蚀刻废液的铜回收及同步再生微蚀刻液系统，其特征在于，包括如权利要求1-5中任意一项所述一种H₂SO₄/S₂O₈^2-微蚀刻废液的铜回收及同步再生微蚀刻液装置，还包括：

与所述阳极室(2)连通、用于回收所述阳极室(2)内经阳极件(5)电化学氧化循环再生的微蚀刻液的蚀刻机微蚀刻液储槽(12)；

与所述蚀刻机微蚀刻液储槽(12)连通、用于收集所述蚀刻机微蚀刻液储槽(12)排出的微蚀刻废液的微蚀刻废液储槽(10)，所述微蚀刻废液储槽(10)向所述阴极室(3)提供阴极液；以及，

与所述阴极室(3)和所述阳极室(2)连通、用于储存所述阴极室(3)内经过电解回收金属铜后的微蚀刻废液并为所述阳极室(2)提供阳极液的阳极液储槽(11)。

7.根据权利要求6所述的一种H₂SO₄/S₂O₈^2-微蚀刻废液的铜回收及同步再生微蚀刻液系统，其特征在于，所述第一电解槽(1)的阳极室(2)和所述微蚀刻废液储槽(10)之间连通有无隔膜的第二电解槽(13)，所述第二电解槽(13)内设有电解装置(14)，所述微蚀刻废液储槽(10)内的微蚀刻废液经过所述电解装置(14)回收金属铜后导向所述第一电解槽(1)的阳极室(2)。