[发明专利]3D打印及软磁贴片集成元件用超细金属粉末的制备方法

权利要求书

1.3D打印及软磁贴片集成元件用超细金属粉末的制备方法，包括以下步骤：

(1)配料：将原材料金属纯铁、金属铬、金属镍、金属钴和金属硅按照比例配好；

(2)冶炼：将配好的原材料放置在熔炼坩埚中，将纯铁棒绕坩埚壁放置一圈，其余纯铁棒放置在坩埚中心，等坩埚中钢液熔化后，加入金属硅，保温10分钟，得到溶液配料；

(3)高压气体雾化：将步骤(2)得到的溶液配料倾倒入1000℃的保温坩埚中，熔化的溶液经保温坩埚底部的小孔流入高压真空气雾化炉并经过高压氮气的冲击雾化，制备出粒度10-100μm的金属粉末，高压真空气雾化炉中的喷嘴采用高压超声紧耦合喷嘴；

(4)筛分退火：将步骤(3)得到的金属粉末通过旋振筛按照粒度进行分级，然后对分级后的金属粉末采用旋转退火炉进行退火处理，退火温度为600-800℃，采用真空或Ar或H2保护进行热处理，得到粉末材料。

2.根据权利要求1所述的3D打印及软磁贴片集成元件用超细金属粉末的制备方法，其特征在于，在步骤(1)中，纯铁采用T4号，纯铁碳含量小于0.05％，其余金属碳含量总量小于0.06％，金属硅采用443号，硅含量为99.9％。

3.根据权利要求1所述的3D打印及软磁贴片集成元件用超细金属粉末的制备方法，其特征在于，在步骤(3)中，高压超声紧耦合喷嘴中的气雾喷孔包括从里到外依次连通的收缩段、过渡段、直线段和消波段，收缩段内壁线型为维托辛思基曲线，过渡段孔径逐渐递增，直线段为圆柱形孔，消波段内壁为向外扩张的曲面。

4.根据权利要求1所述的3D打印及软磁贴片集成元件用超细金属粉末的制备方法，其特征在于，在步骤(3)中，将高压真空气雾化炉上下炉腔分开，单独密封，并在上炉腔施加0.01-0.02MPa的正向压力。

5.根据权利要求1所述的3D打印及软磁贴片集成元件用超细金属粉末的制备方法，其特征在于，在步骤(4)中，旋振筛上设置有超声发生装置。

6.根据权利要求1所述的3D打印及软磁贴片集成元件用超细金属粉末的制备方法，其特征在于，将步骤(4)得到的粉末材料进行取样检测，对粉末材料检测时，使用电子显微镜检测其粒度大小及球形度，使用X荧光分析仪进行粉末成份分析，使用C/S分析仪检测粉末中C含量，使用氧分析仪检测粉末中氧含量，使用VSM检测粉末的Bs磁特性，使用电感测试仪和网络分析仪检测产品的磁导率和其他电磁特性。

7.根据权利要求6所述的3D打印及软磁贴片集成元件用超细金属粉末的制备方法，其特征在于，将检测合格的粉末材料进行混料，混料采用锥形混料机，将不同批次的粉末材料放置其中进行均匀混合，最后进行包装。