[发明专利]一种透明导电电极及其制备方法、显示装置在审
申请号: | 201810684594.0 | 申请日: | 2018-06-27 |
公开(公告)号: | CN108878370A | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
发明(设计)人: | 张霞;刘国和;刘刚 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/84 | 分类号: | H01L21/84;H01L27/12;G02F1/1343;H01B5/14;H01B13/00 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 聚碳酸丙烯酯 透明导电电极 透明导电层 沟道 基板 去除 制备 光酸产生剂 油墨 边缘直线 干燥处理 灰化处理 涂布油墨 显示装置 溶剂 用料 节约 | ||
本发明提供了一种透明导电电极的制备方法,包括以下步骤:提供基板,在基板上涂布含有光酸产生剂的聚碳酸丙烯酯层,再在聚碳酸丙烯酯层中形成沟道;在沟道中通过涂布油墨以形成透明导电层,随后经干燥处理以去除油墨中的溶剂;通过灰化处理以去除剩余的聚碳酸丙烯酯层,得到透明导电电极。本发明提供的方法,通过涂布含有光酸产生剂的聚碳酸丙烯酯层可极大地降低去除聚碳酸丙烯酯层时所需的温度,最终可使透明导电电极适用于更多种类的基板上。而且在聚碳酸丙烯酯层中形成沟道,进而在沟道中形成透明导电层的方法,不仅可极大地节约油墨的用料,降低制备的成本,还可以精确的控制透明导电层的线宽和厚度,更可以提高透明导电层的边缘直线性。
技术领域
本发明属于显示技术领域,具体涉及一种透明导电电极的制备方法、显示装置。
背景技术
薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)具有机身薄、省电、显示效果出色等众多优点。而且现在人们对TFT-LCD的研究也在不断地深入中。为了实现TFT-LCD的多畴显示,广视角,一般需要对透明导电电极进行图案化处理。而现有技术一般是采用PVD法溅镀全膜,再通过爆光、蚀刻、剥离工艺,最终形成图案。但上述工艺不仅工艺复杂,成本高,而且在制备过程中涉及高温,对显示面板,尤其是柔性面板有很大的危害。
目前,有人采用丝网印刷工艺来制备透明导电电极,但丝网印刷工艺的解析度不足,透明导电电极的线宽过大,不能形成微纳米级别的图案,而且丝网印刷工艺的膜厚控制不稳定。因此,到目前为止,还没有一个良好的透明导电电极的制备方法。
发明内容
鉴于此,本发明提供了一种透明导电电极的制备方法、显示装置,通过提供一种新的制备方法不仅降低了透明导电电极制备时的温度,使透明导电电极适用于更多种类的基板。而且在沟道中形成透明导电层的方法,还可节约油墨的用料,降低制备的成本,精确的控制透明导电层的线宽和厚度,提高透明导电层的边缘直线性。
本发明第一方面提供了一种透明导电电极的制备方法,包括以下步骤:
提供基板,在所述基板上涂布含有光酸产生剂的聚碳酸丙烯酯层,再在所述聚碳酸丙烯酯层中形成沟道;
在所述沟道中通过涂布油墨以形成透明导电层,随后经干燥处理以去除所述油墨中的溶剂;
通过灰化处理以去除剩余的所述聚碳酸丙烯酯层,得到透明导电电极。
本发明第一方面提供的一种图案化的方法,通过涂布含有光酸产生剂的聚碳酸丙烯酯层可极大地降低去除聚碳酸丙烯酯层时所需的温度,使整个流程皆以低温实现,最终可使透明导电电极适用于更多种类的基板上。而且在聚碳酸丙烯酯层中形成沟道,进而在沟道中形成透明导电层的方法,不仅可极大地节约油墨的用料,降低制备的成本,还可以精确的控制透明导电层的线宽和厚度,更可以提高透明导电层的边缘直线性。
其中,所述灰化处理的具体操作为:仅对剩余的所述聚碳酸丙烯酯层进行光照,随后在100-150℃的温度下加热30s-30min。
其中,所述灰化处理的具体操作为:将剩余的所述聚碳酸丙烯酯层在150-200℃的温度下加热30s-30min。
其中,所述油墨包括主料和溶剂,所述溶剂的沸点小于150℃。
其中,所述溶剂包括乙醇、异丙醇、水、甲醇、二甲基亚砜、四氢呋喃、乙二醇、二甲基甲酰胺、己烷、乙酸乙酯、丁酮、环己烷、乙二醇二甲醚、甲苯、硝基乙烷、吡啶、丁醇、乙二醇一甲醚、辛烷、乙酸丁酯、乙二醇一乙醚、二甲苯和醋酸酐中的一种或多种。
其中,所述光酸产生剂包括鎓盐、硝基苯甲基衍生物、磺酸酯、重氮甲烷衍生物、乙二肟衍生物、N-羟基酰亚胺化合物的磺酸酯衍生物和含卤素的三嗪化合物中的一种或多种。
其中,所述干燥处理的温度为60-150℃,干燥处理的时间为5min-6h。
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