[发明专利]一种快速退火装置及其冷却管道结构

权利要求书

1.一种用于快速退火装置的冷却管道结构，其特征在于，包括：

多条第一支管道，所述多条第一支管道具有相对的两端部，所述多条第一支管道同一侧的端部连接至一可拆卸的第一进水主管道，所述多条第一支管道同一侧的另一端部连接至一可拆卸的第一出水主管道；

多条第二支管道，所述多条第二支管道和所述多条第一支管道逐一间隔排列，所述多条第二支管道具有相对的两端部，所述多条第二支管道同一侧的端部连接至一可拆卸的第二进水主管道，所述多条第二支管道同一侧的另一端部连接至一可拆卸的第二出水主管道，其中：

所述第一进水主管道和所述第二进水主管道分别位于所述多条第一支管道或所述多条第二支管道的相对两侧。

2.如权利要求1所述的用于快速退火装置的冷却管道结构，其特征在于，所述多条第一支管道为相互平行而设的多条直管。

3.如权利要求1或2所述的用于快速退火装置的冷却管道结构，其特征在于，所述第一进水主管道为与所述多条第一支管道垂直而设的直管；所述第一出水主管道为与所述多条第一支管道垂直而设的直管。

4.如权利要求3所述的用于快速退火装置的冷却管道结构，其特征在于，所述第一进水主管道与所述多条第一支管道的连接位置分别设置用以调节相应第一支管道流量的第一流量控制阀。

5.如权利要求3所述的用于快速退火装置的冷却管道结构，其特征在于，所述多条第二支管道为相互平行而设的多条直管。

6.如权利要求5所述的用于快速退火装置的冷却管道结构，其特征在于，所述第二进水主管道为与所述多条第二支管道垂直而设的直管；所述第二出水主管道为与所述多条第二支管道垂直而设的直管。

7.如权利要求5或6所述的用于快速退火装置的冷却管道结构，其特征在于，所述第二进水主管道与所述多条第二支管道的连接位置分别设置用以调节相应第二支管道流量的第二流量控制阀。

8.如权利要求1所述的用于快速退火装置的冷却管道结构，其特征在于，所述多条第一支管道和所述多条第二支管道相互平行。

9.如权利要求1所述的用于快速退火装置的冷却管道结构，其特征在于，所述多条第一支管道、所述第一进水主管道、所述第一出水主管道、所述多条第二支管道、所述第二进水主管道以及所述第二出水主管道设在同一平面上。

10.一种快速退火装置，其特征在于，包括：冷却管道，其中：所述冷却管道为如权利要求1-9任一项所述的用于快速退火装置的冷却管道结构。