[发明专利]硅片切割废液的处理方法及处理系统

说明书

本发明涉及一种硅片切割废液的处理方法及处理系统。其中，处理系统包括依次设置有：废液收集池，用于收集硅片切割过程中产生的废液；与所述废液收集池一端连通的加酸装置，用于调节所述废液收集池的pH值；与所述废液收集池另一端连通的板框压滤装置，用于对流经所述板框压滤装置的废液进行压滤；与所述板框压滤装置连通的陶瓷膜组件，用于对压滤后的压滤液进行膜过滤；与所述陶瓷膜组件连通的离子交换罐，用于对膜过滤后的透滤液进行离子交换得到清液；以及与所述离子交换罐连通的清液利用端。上述硅片切割废液的处理系统结构简单，可以实现对硅片切割废液的净化处理，进而可满足对水质要求较高的生产工艺的用水需求。

技术领域

本发明涉及硅片切割领域，特别是涉及一种硅片切割废液的处理方法及处理系统。

背景技术

目前硅片切割领域，普遍采用金刚线对硅锭进行切割，而在切割过程中需要不断在金刚线表面喷淋冷却液以防止局部过热损害切割设备和金刚线。但是冷却液多为聚合高分子化合物，成本高，但使用过后的冷却液又会携带硅片切割过程中脱落的硅粉、碳化硅及胶质杂质而成为硅片切割废液，传统方法还无法对上述废液进行有效的二次利用。

发明内容

基于此，有必要针对无法对硅片切割废液进行二次利用的问题，提供一种硅片切割废液的处理方法及处理系统，经该处理系统处理后的清液可满足对水质要求较高的生产工艺的用水需求。

一种硅片切割废液的处理系统，包括依次设置有：

废液收集池，用于收集硅片切割过程中产生的废液；

与所述废液收集池一端连通的加酸装置，用于调节所述废液收集池的pH值；

与所述废液收集池另一端连通的板框压滤装置，用于对流经所述板框压滤装置的废液进行压滤；

与所述板框压滤装置连通的陶瓷膜组件，用于对压滤后的压滤液进行膜过滤；

与所述陶瓷膜组件连通的离子交换罐，用于对膜过滤后的透滤液进行离子交换得到清液；

以及与所述离子交换罐连通的清液利用端。

上述硅片切割废液的处理系统结构简单，可以实现对硅片切割废液的净化处理，进而可满足对水质要求较高的生产工艺的用水需求，例如：供再次作为硅片切割冷却液进行重复使用。具体而言，该废液处理系统中含有加酸装置，可在废液进入板框压滤装置前，将废液收集池中的酸碱度调制为最佳，进而有利于废液在板框压滤装置中得到充分净化，以防止因废液中的pH值过高，而浆液的pH升高后，硅粉会和OH根反应，形成胶质状的硅酸盐，硅酸盐会致阻塞板框压滤装置中的滤布孔发生堵塞。此外，将经陶瓷膜组进行膜过滤的透滤液加入离子交换罐中，通过离子交换，降低透滤液的电导率，进而可满足对水质要求较高的生产工艺的用水需求，从而实现原料的再次利用，降低成本。

在其中一个实施例中，所述离子交换罐包括依次设置的阳离子树脂罐和阴离子树脂罐。

在其中一个实施例中，所述阳离子树脂罐中的阳离子树脂为强酸性苯乙烯系阳离子交换树脂，阳离子树脂的粒径为0.315-1.250mm。

在其中一个实施例中，所述阴离子树脂罐中的阴离子树脂为强碱性苯乙烯系阴离子交换树脂，阴离子树脂的粒径为0.315-1.250mm。

在其中一个实施例中，所述阳离子树脂罐中设定的压力为0.2-0.4MPa。

在其中一个实施例中，所述阴离子树脂罐中设定的压力为0.2-0.4MPa。

在其中一个实施例中，所述陶瓷膜组件包括支撑体层、过渡层以及微孔膜层。

在其中一个实施例中，所述阴离子树脂罐中安装有电导率测试仪。

本发明还提供了一种硅片切割废液的处理方法。