[发明专利]一种液体传输装置及传输方法

权利要求书

1.一种液体传输装置，其特征在于，用于传输液体，所述液体用于清洗或者刻蚀阵列基板，所述液体传输装置至少包括：

第一支管路，设置有第一监测装置和第一阀门，所述第一监测装置用于监测所述第一支管路的流量；

第二支管路，与所述第一支路并联设置，设置有第二阀门；

所述第一阀门用于在所述第一支管路的流量小于或等于预设的流量阈值时，关闭所述第一支管路；

所述第二阀门用于在所述第一阀门关闭时开启所述第二支管路，利用所述第二支管路传输所述液体。

2.根据权利要求1所述的液体传输装置，其特征在于，所述液体传输装置还包括控制器，所述控制器与所述第一监测装置、所述第一阀门和所述第二阀门连接，所述控制器用于在所述第一支管路的流量小于或等于预设的流量阈值时，控制所述第一阀门开启同时控制所述第二阀门关闭。

3.根据权利要求2所述的液体传输装置，其特征在于，所述第二支管路设有第二监测装置，所述第二监测装置与所述控制器连接，所述第二监测装置用于监测所述第二支管路的流量；所述控制器用于在所述第二支管路的流量小于所述流量阈值时，控制所述第一阀门开启所述第一支管路，并控制所述第二阀门关闭所述第二支管路，利用所述第一支管路传输所述液体。

4.根据权利要求3所述的液体传输装置，其特征在于，所述第一支管路进一步包括第一过滤器，所述第二支管路进一步包括第二过滤器，所述第一过滤器和所述第二过滤器用于对所述液体进行过滤。

5.根据权利要求4所述的液体传输装置，其特征在于，所述第一支管路进一步包括第三阀门，所述第三阀门位于所述第一阀门与所述第一过滤器之间；所述第二支管路进一步包括第四阀门，所述第四阀门位于所述第二阀门与所述第二过滤器之间。

6.根据权利要求1所述的液体传输装置，其特征在于，所述液体传输装置还包括指示器，所述指示器用于指示所述第一支管路和所述第二支管路的传输状态。

7.根据权利要求1所述的液体传输装置，其特征在于，所述液体传输装置还包括警报器，所述警报器用于在所述第一支管路或第二支路的流量小于或等于所述流量阈值时产生报警信号。

8.根据权利要求1所述的液体传输装置，其特征在于，所述液体传输装置还包括主管路和传输泵，所述第一支管路和所述第二支管路均与所述主管路连通，所述传输泵设置于所述主管路的传输路径中。

9.根据权利要求1所述的液体传输装置，其特征在于，所述液体传输装置还包括液体存储箱，所述液体存储箱与所述主管路连接，所述液体存储箱用于存储液体。

10.一种液体传输装置的传输方法，其特征在于，所述液体传输装置为如权利要求1至9任一项所述的装置，在初始状态下，所述第一支管路传输所述液体，所述方法包括：

通过所述第一监测装置监测所述第一支管路的流量；

判断所述第一支管路的流量是否小于或等于预设的流量阈值；

若是，通过所述第一阀门关闭所述第一支管路，通过所述第二阀门开启所述第二支管路，以使所述第二支管路传输所述液体。