[发明专利]一种敏感膜及传感器

说明书

本发明公开了一种敏感膜及传感器，包括膜本体，在所述膜本体的边缘区域设置有折环结构，所述折环结构呈非封闭的环状；所述折环结构的非封闭位置构成非封闭区，所述膜本体位于折环结构两侧的位置与非封闭区是一体且连续的。本发明的敏感膜，环状的折环结构被非封闭区间隔开，当敏感膜受到较大冲击时，由于非封闭区与膜本体是一体且连续的，该非封闭区相对于折环结构会抵抗膜本体的变形，从而抑制敏感膜的振幅，降低了敏感膜失效的风险。

技术领域

本发明涉及一种敏感膜，更具体地，涉及一种用于传感器的敏感膜，例如应用于麦克风的敏感膜、应用于扬声器的敏感膜或者应用于压力传感器的敏感膜等。

背景技术

随着科技的发展，传感器成为电子产品中必不可少的部件，例如用于拾取声音的麦克风、用于发声的扬声器，或者用来测量压力的压力传感器等等。

这些传感器基本上都是应用了敏感膜的形变来获得检测的信息。例如麦克风结构，其包括构成平板电容器结构的敏感膜以及背极板，当敏感膜感应外界传入的声音时，发生形变以改变敏感膜与背极板之间的距离，从而使得平板电容器结构输出变化的电信号，以该电信号来表征声音信息。

通常，为了提高敏感膜的形变幅度，会在敏感膜的边缘设置一圈环状的折环结构，即波纹结构。通过该折环结构可以使敏感膜中部区域的变化幅度变大，提高检测的效果。但是当敏感膜遭受较大的冲击时，该折环结构会使得敏感膜的中部区域发生过大的变形，这有可能会造成敏感膜的失效。

发明内容

本发明的一个目的是提供一种敏感膜的新技术方案。

根据本发明的第一方面，提供了一种敏感膜，包括膜本体，在所述膜本体的边缘区域设置有折环结构，所述折环结构呈非封闭的环状；所述折环结构的非封闭位置构成非封闭区，所述膜本体位于折环结构两侧的位置与非封闭区是一体且连续的。

可选地，所述非封闭区设置有一个，所述环状的折环结构被一个非封闭区隔开。

可选地，所述非封闭区设置有至少两个，所述环状的折环结构被至少两个非封闭区间隔成至少两个区段。

可选地，至少有两个非封闭区的长度不相等。

可选地，至少有两个区段的长度不相等。

可选地，所述环状的折环结构中，每个非封闭区的长度相等，且均匀分布在折环结构的周向方向上。

可选地，所述折环结构设置有多个，该多个折环结构依次分布在膜本体的径向方向上。

可选地，多个折环结构形状相同，且同心布置。

根据本发明另一方面，还提供了一种传感器，包括上述的敏感膜。

可选地，所述传感器为压力传感器、麦克风或扬声器。

本发明的敏感膜，环状的折环结构被非封闭区间隔开，当敏感膜受到较大冲击时，由于非封闭区与膜本体是一体且连续的，该非封闭区相对于折环结构会抵抗膜本体的变形，从而抑制敏感膜的振幅，降低了敏感膜失效的风险。

通过以下参照附图对本发明的示例性实施例的详细描述，本发明的其它特征及其优点将会变得清楚。

附图说明

被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本发明的实施例，并且连同其说明一起用于解释本发明的原理。

图1是本发明麦克风的结构示意图。

图2是本发明折环结构第一实施方式的结构示意图。

图3是本发明折环结构第二实施方式的结构示意图。

图4是本发明折环结构第三实施方式的结构示意图。

图5是本发明折环结构横截面的示意图。