[发明专利]一种综合环境模拟设备

权利要求书

1.一种综合环境模拟设备，包括测试腔、湿度控制模块、温度控制模块、气体混合模块、压强控制模块、电源控制器和测试台，其特征在于，在测试腔外侧设置湿度控制模块和气体混合模块，在腔体内部设置温度控制模块和测试台，在腔体外侧设置压强控制模块。

2.根据权利要求1所述的综合环境模拟设备，其特征在于，湿度控制模块包括，湿度传感器、湿度通道、湿度发生器和控制器；温度控制模块包括，加热板、热偶温度传感器和数显温控仪表；气体混合模块包括，流量表、进气口、混合室和出气口；压强控制模块包括，包括增压装置，降压装置以及气压测试装置。

3.根据权利要求1所述的综合环境模拟设备，其特征在于，所述测试腔分为上下或内外两部分，在上部或外侧设置湿度通道入口和混合气体入口，在下部或外侧设置抽气出口，在底部设置加热板。

4.根据权利要求1所述的综合环境模拟设备，其特征在于，测试腔整个腔体外型呈圆柱形或方形，但不限于包括其他外形的设计结构。

5.根据权利要求1所述的综合环境模拟设备，其特征在于，所述测试腔的腔体封闭方式采用开合式机械真空封闭，但不限于包括其他真空封闭形式。

6.根据权利要求2所述的综合环境模拟设备，其特征在于，所述的压强控制模块，通过测试腔抽气出口连接真空泵或者增压泵，达增压、降压的目的。

7.根据权利要求6所述的综合环境模拟设备，其特征在于，所述的压强控制模块，其增压降压范围为10^-4Pa～2.02×10⁶Pa。

8.根据权利要求2所述的综合环境模拟设备，其特征在于，所述的压强测试装置，将指针式气压表的气压敏感元件或气压传感器置于测试腔的内部，再将表头置于测试腔的外部，起到测试气压的作用。

9.根据权利要求书1所述的综合环境模拟设备，其特征在于，所述测试台，X-Y移动基座采用同轴调节结构，可安装4个可微调探针臂，每个探针臂上的探针都可以进行3维方向上的定位，测试台采用真空吸附的方式固定样品。

10.根据权利要求书9所述的综合环境模拟设备，其特征在于，在测试台中心位置钻出一小孔，连接外部小型真空泵，抽取一定空气改变气压，从而达到吸附的作用。