[发明专利]排气装置及干法刻蚀设备

权利要求书

1.一种排气装置，其特征在于，包括排气泵和排气腔体，所述排气腔体中空且为一框体，所述排气泵连通所述排气腔体的中空部分，所述框体于待刻蚀件的放置位置的周边设置，所述框体的表面形成有多个排气孔，所述排气泵通过所述排气腔体排出所述待刻蚀件周围的气体。

2.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述排气腔体为一矩形框体，所述矩形框体包括4个相互独立的L型排气模块，4个所述L型排气模块的端部相互贴合以形成所述矩形框体，4个所述L型排气模块分别与4个分子泵连通。

3.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述排气孔位于所述框体的上表面，且所述排气孔呈矩阵分布。

4.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，至少部分所述排气孔处设有排气阀门，所述排气阀门通过调节阀门开度进而调节所述排气孔的排气速率。

5.根据权利要求4所述的排气装置，其特征在于，所述排气孔的表面设有气压感应装置，所述气压感应装置通过感应所述排气孔表面的气压对所述排气阀门的阀门开度进行控制，进而控制所述排气孔的排气速率。

6.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述排气腔体为一矩形框体，所述矩形框体包括4个相互独立的直线型排气模块，4个所述直线型排气模块的端部相互贴合以形成所述矩形框体，4个所述直线型排气模块分别与4个分子泵连接。

7.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述排气孔的形状为圆形、椭圆形、三角形、多边形、正方形或矩形中的任一种。

8.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述排气孔的开口面积相等。

9.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述框体的截面为圆形、椭圆形、三角形、多边形、正方形或矩形中的任一种。

10.一种干法刻蚀设备，其特征在于，包括反应腔体和权利要求1-9任一所述的排气装置，所述排气装置位于所述反应腔体内，所述排气装置中的排气泵一端与排气腔体连通，另一端与所述反应腔体的出气口连通，以将所述反应腔体中的气体排出。