[发明专利]柔性六角铁氧体薄膜及其制备方法

说明书

本发明公开了一种柔性六角铁氧体薄膜及其制备方法，所述制备方法包括：S1、采用六角铁氧体粉末制备六角铁氧体靶材；S2、提供单晶基片，所述单晶基片作为薄膜制备的基底；S3、使用真空镀膜设备在单晶基片上外延生长六角铁氧体薄膜；S4、采用机械剥离法将单晶基片剥离，得到柔性六角铁氧体薄膜。本发明采用真空镀膜的方法在耐高温的单晶基底上生长高度择优取向的六角铁氧体薄膜，再通过机械法剥离耐高温单晶基片的方法成功制备柔性薄膜；柔性六角铁氧体薄膜具有可弯曲性，弯曲后磁性能基本没有改变，因此对于柔性器件具有潜在价值。

技术领域

本发明涉及薄膜材料技术领域，特别是涉及一种柔性六角铁氧体薄膜及其制备方法。

背景技术

随着智能终端的普及。可穿戴电子设备呈现出巨大的市场前景。传感器作为核心部件之一，将影响可穿戴设备的功能设计与未来发展。柔性可穿戴电子传感器具有轻薄便携、电学性能优异和集成度高等特点，使其成为最受关注的电学传感器之一，而柔性磁性薄膜是柔性可穿戴电子器件的关键材料之一。

目前，已经制备了CoFeB、FeGa等金属柔性磁性薄膜材料，但是柔性绝缘性的铁氧体磁性薄膜材料制备研究方面的报道很少。六角铁氧体具有较好的化学稳定性和耐腐蚀性，同时也具有高矫顽力和居里温度等优点，可以作为永磁材料，同时也可以在信息存储、微波信息传输(环形器)、雷达探测、吸波等领域具有广泛的应用前景。但是，目前柔性六角铁氧体薄膜，特别是外延柔性六角铁氧体薄膜的制备方法未见报道。

因此，针对上述技术问题，有必要提供一种柔性六角铁氧体薄膜及其制备方法。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种柔性六角铁氧体薄膜及其制备方法，可广泛应用于信息存储、雷达探测、微机电系统等领域。

为了实现上述目的，本发明一实施例提供的技术方案如下：

一种柔性六角铁氧体薄膜的制备方法，所述制备方法包括：

S1、采用六角铁氧体粉末制备六角铁氧体靶材；

S2、提供单晶基片，所述单晶基片作为薄膜制备的基底；

S3、使用真空镀膜设备在单晶基片上外延生长六角铁氧体薄膜；

S4、采用机械剥离法将单晶基片剥离，得到柔性六角铁氧体薄膜。

作为本发明的进一步改进，所述六角铁氧体粉末包括BaCO₃粉末和/或SrCO₃粉末、以及Fe₂O₃粉末。

作为本发明的进一步改进，所述步骤S1具体为：

S11、将BaCO₃粉末和/或SrCO₃粉末、以及Fe₂O₃粉末按比例称重后均匀混合，进行研磨，而后将六角铁氧体粉末进行退火工艺，并自然冷却；

S12、继续研磨六角铁氧体粉末，再混合聚乙烯醇后再次研磨，直至粉末分散无凝结块状；

S13、通过液压机进行压靶，将粉末压成块状靶材，对块状靶材进行退火工艺，并自然冷却，得到六角铁氧体靶材。