[发明专利]基板传送装置及系统

说明书

本申请公开了一种基板传送装置及系统，该基板传送装置包括，磁性基座，磁性基座包括用于产生磁场的电磁单元以及连接电磁单元的倾斜装置；磁性承接盘，磁性承接盘位于电磁单元一侧的磁场中，磁性承接盘用于放置待传送基板，并在电磁单元产生磁场时相对磁性基座悬浮；倾斜装置带动电磁单元沿预定角度进行倾斜，调整磁场方向，以使磁性承接盘相对于磁性基座沿预定方向运动。通过此种在传送过程中以下方支撑的方式不会对基板膜面造成损伤，因此更具安全可靠的特性。

技术领域

本申请涉及显示面板加工领域，特别是涉及一种对基板进行传送的基板传送装置及系统。

背景技术

在显示器件的制造工业中，会使用到基板，在现有平板显示装置的制作过程中，一般需要利用基板移送装置传送平板显示装置的基板，以进行不同制程之间的转换。

目前基板的传送采用捞抓的方式，由于捞抓上的吸嘴利用的是真空吸附容易造成玻璃面板变形而形成亮度不均匀，而且基板在传送过程中采用捞抓的方式不可避免的直接与基板的表面接触，使得基板极易被传送磨损，从而影响平板显示装置的显示。

发明内容

本申请主要解决的技术问题是提供一种基板传送装置及系统，能够避免传送机构直接作用于玻璃面板的表面，减少玻璃面板亮度不均匀、破片等风险。

为解决上述技术问题，本申请采用的第一个技术方案是：提供一种基板传送装置，该基板传送装置包括：磁性基座，磁性基座包括用于产生磁场的电磁单元以及连接电磁单元的倾斜装置；磁性承接盘，磁性承接盘位于电磁单元一侧的磁场中，磁性承接盘用于放置待传送基板，并在电磁单元产生磁场时相对磁性基座悬浮；倾斜装置带动电磁单元沿预定角度进行倾斜，改变磁场方向，以使磁性承接盘相对于磁性基座沿预定方向运动。

为解决上述技术问题，本申请采用的第二个技术方案是：提供一种基板传送系统，该基板传送系统包括上述任一项的基板传送装置。

本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请提供的基板传送装置包括：磁性基座，磁性基座包括用于产生磁场的电磁单元以及连接电磁单元的倾斜装置；磁性承接盘，磁性承接盘位于电磁单元一侧的磁场中，磁性承接盘用于放置待传送基板，并在电磁单元产生磁场时相对磁性基座悬浮；倾斜装置带动电磁单元沿预定角度进行倾斜，调整磁场方向，以使磁性承接盘相对于磁性基座沿预定方向运动。通过此种方式避免基板移送过程中直接作用于基板表面，从而减少玻璃面板亮度不均匀、破片等风险，提高产品的良率。另外本基板传送装置并不需要利用吸嘴真空吸附，因此，与现有技术相比，本申请还可以减少厂务真空的使用量，减少能源消耗，降低生产成本。

附图说明

图1是本申请提供的基板传送装置一实施例的结构示意图；

图2是本申请提供的基板传送装置另一实施例的俯视结构示意图；

图3是本申请提供的基板传送装置另一实施例的侧视结构示意图；

图4是本申请提供的基板传送装置另一实施例中的磁感线圈不倾斜时磁性基座结构示意图；

图5是本申请提供的基板传送装置另一实施例中的磁感线圈倾斜时磁性基座结构示意图；

图6是本申请提供的基板传送系统一实施例结构示意图。

具体实施方式

本申请提供一种基板传送装置及系统，为使本申请的目的、技术方案和技术效果更加明确、清楚，以下对本申请进一步详细说明，应当理解此处所描述的具体实施条例仅用于解释本申请，并不用于限定本申请。