[发明专利]抛光机构及抛光装置

说明书

本发明公开了一种抛光机构及抛光装置，涉及光学元件抛光设备技术领域。该抛光机构包括驱动件、基体、行星齿轮组件、传动组件以及被动柔顺组件。行星齿轮组件包括太阳轮、行星架以及行星轮，太阳轮与基体固定连接，驱动件与行星架固定连接且带动行星架转动，行星轮可转动的设置于行星架且与太阳轮啮合传动，行星轮通过传动组件与被动柔顺组件传动连接。该抛光机构设计合理，抛光质量稳定，能够实现抛光磨具同时具有公转、自转的复合运动，且其公转偏心距大小可以在设计范围内进行连续调节，被动柔顺组件实现抛光接触力在小范围内波动，针对不同工艺条件适应性强。

技术领域

本发明涉及光学元件抛光设备技术领域，具体而言，涉及一种抛光机构及抛光装置。

背景技术

近年来，由于非球面、自由曲面光学元件具有对多种相差校正、改善成像质量等优异光学性能，因而被光学系统采用。

目前大型非球面光学元件的精密研抛加工仍主要以人工操作完成，存在着加工质量不稳定、耗时长、难度大、效率低等一系列难题，传统的加工方法不能满足当前社会对于大批量大型非球面光学元件的需求。抛光加工成为了曲面光学元件加工过程的瓶颈，制约了光学技术的发展应用。

发明内容

本发明的目的在于提供一种抛光机构，其能够在具有偏心距、公转以及自转的复合运动前提下，对光学元件进行抛光，从而得到高质量的光学元件，设计合理，操作方便，适应性强。

本发明的另一个目的在于提供一种抛光装置，具有上述抛光机构的优点。

本发明的实施例是这样实现的：

基于上述目的，本发明的实施例提供了一种抛光机构，包括驱动件、基体、行星齿轮组件、传动组件以及被动柔顺组件；

所述行星齿轮组件包括太阳轮、行星架以及行星轮，所述太阳轮与所述基体固定连接，所述驱动件与所述行星架固定连接且带动所述行星架转动，所述行星轮可转动的设置于所述行星架且与所述太阳轮啮合传动，所述行星轮通过所述传动组件与所述被动柔顺组件传动连接。

另外，根据本发明的实施例提供的抛光机构，还可以具有如下附加的技术特征：

在本发明的可选实施例中，所述行星架包括第一传动轴，所述驱动件包括驱动轴，所述第一传动轴依次穿设于所述太阳轮和所述基体，且与所述驱动轴固定连接；

所述行星架周向设置有至少一个连接部，所述行星轮的数量与所述连接部的数量相同且包括传动行星轮，所述行星轮一一对应的可转动设置于所述连接部，且每个所述行星轮分别与所述太阳轮啮合，所述传动行星轮通过第二传动轴与所述传动组件连接。

在本发明的可选实施例中，所述行星轮的数量为三个且围绕所述太阳轮均匀分布。

在本发明的可选实施例中，所述传动组件包括第一传动轮、双联齿轮以及第二传动轮，所述双联齿轮包括同轴设置的第三传动轮和第四传动轮；

所述双联齿轮通过第三传动轴可转动的设置于所述行星架，所述第三传动轮与所述第一传动轮啮合，所述第四传动轮与所述第二传动轮啮合，所述第二传动轮与所述被动柔顺组件的动力输出轴固定连接。

在本发明的可选实施例中，所述第三传动轮的齿数大于所述第一传动轮的齿数，所述第二传动轮的齿数大于所述第四传动轮的齿数，所述第三传动轮的齿数大于所述第四传动轮的齿数。

在本发明的可选实施例中，所述行星架背离所述驱动件的一侧还固定设置有副行星架，所述副行星架开设有铰接孔、输出轴调节孔以及角度调节孔，所述输出轴调节孔和所述角度调节孔均为圆弧形孔，且所述输出轴调节孔的轴线、所述角度调节孔的轴线以及所述铰接孔的轴线重合；

所述被动柔顺组件通过调偏心轴承座与所述副行星架连接，所述动力输出轴穿设于所述输出轴调节孔且能够沿所述输出轴调节孔进行位置调节。