[发明专利]一种铜合金键合丝及其制造方法在审
申请号: | 201810702746.5 | 申请日: | 2018-06-30 |
公开(公告)号: | CN108823463A | 公开(公告)日: | 2018-11-16 |
发明(设计)人: | 周振基;周博轩;麦宏全;于锋波;彭政展;王贤铭 | 申请(专利权)人: | 汕头市骏码凯撒有限公司 |
主分类号: | C22C9/00 | 分类号: | C22C9/00;C22F1/08;C22F1/02;H01L33/62 |
代理公司: | 汕头市潮睿专利事务有限公司 44230 | 代理人: | 林天普;朱明华 |
地址: | 515000 广东省汕*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 键合丝 铜合金 微量添加元素 打线 抗老化性能 接合性 重量计 作业性 电极 线材 弧高 制造 破裂 损伤 | ||
一种铜合金键合丝,其特征在于按重量计含有Ag 0.3‑5%,微量添加元素 1‑450ppm,余量为铜;所述微量添加元素是Ca、In、Be和Ge中的一种或其中两种以上的组合。本发明还提供上述铜合金键合丝的一种制造方法。本发明的铜合金键合丝具有以下有益效果:(1)具有优异的作业性和可靠性;(2)抗老化性能好;(3)有较适合的线材硬度,极大地降低了打线的弧高;(4)IC打线时,对一焊电极没有造成破裂和损伤;(5)能提供良好的接合性;(6)成本较低。
技术领域
本发明涉及IC、LED封装用的键合丝,具体涉及一种铜合金键合丝及其制造方法。
背景技术
键合丝(bonding wire,又称键合线)是连接芯片与外部封装基板(substrate)和/或多层线路板(PCB)的主要连接方式。键合丝的发展趋势,从产品方向上,主要是线径细微化、高车间寿命(floor life)以及高线轴长度;从化学成分上,主要有铜线(包括裸铜线、镀钯铜线、闪金镀钯铜线)在半导体领域大幅度取代金线,而银线和银合金线在LED以及部分IC封装应用上取代金线。由于电子产品小型化和细薄化的发展要求,半导体行业通过芯片厚度减薄(Wafer thinning)、封装采用芯片堆栈(Die stacking)、倒装芯片(flip chip)、晶圆级封装(wafer level packaging)、2.5D和3D封装等方法来应对,然而传统的键合封装(wire bonding)仍然是主流封装形式。
现有的以铜作为主要成分的键合丝主要有纯铜线和镀钯镀金铜线。纯铜线具有良好的作业性和较低的成本,但抗老化性能和耐高温高湿的能力较差,可靠性较低。镀钯镀金铜线包括芯线、包覆在芯线外面的钯预镀层以及包覆在钯预镀层外面的金包覆层,芯线采用纯铜制成;镀钯镀金铜线为了保证良好的作业性和可靠性,需要包覆厚度较厚的钯预镀层和金包覆层,原料成本高,制造工艺也较为复杂,以致制造成本过高,缺乏市场竞争力。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种铜合金键合丝以及这种铜合金键合丝的制造方法,这种铜合金键合丝具有优异的作业性和可靠性,且成本较低。采用的技术方案如下:
一种铜合金键合丝,其特征在于按重量计含有Ag 0.3-5% ,微量添加元素 1-450ppm,余量为铜;所述微量添加元素是Ca、In、Be和Ge中的一种或其中两种以上的组合。
优选上述铜合金键合丝中微量添加元素的含量为 10-450ppm。
一种优选方案中,上述微量添加元素的组成为In 10-150ppm、Ge 10-150ppm和Ca10-150ppm。
另一种优选方案中,上述微量添加元素的组成为Ca 10-150ppm、Be 10-150ppm和Ge 10-150ppm。
另一种优选方案中,上述微量添加元素的组成为Ca 10-150ppm和Ge 10-150ppm。
另一种优选方案中,上述微量添加元素的组成为Ca 10-150ppm和Be 10-150ppm。
另一种优选方案中,上述微量添加元素的组成为Ca 10-150ppm和In 10-150ppm。
优选上述铜合金键合丝的直径为15-40um。
本发明的铜合金键合丝中,芯线中加入含量0.3-5%的Ag(银),能够将铜合金的晶粒细化,改变线材的结晶结构,进而提升线材强度及抗老化能力;适量的微量添加元素用以改进线材的机械性能,其中Ca(钙)、In(铟)能有效提升铜合金的焊线作业性,能增强线材与芯片及基板的粘附性能,提升信赖性能;Be(铍)能提高铜合金线材的再结晶温度,提升线材在高温环境下的耐疲劳性,有效降低颈部断线的几率;Ge(锗)有助于提升铜合金键合丝的抗氧化能力和抗硫化能力,并提高焊点的接合强度。
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