[发明专利]一种银合金键合丝及其制造方法

权利要求书

1.一种银合金键合丝，其特征在于按重量计由下述成分组成：Au 0.1-2 %，Pd 0.1-3%，余量为微量添加元素和Ag；

所述微量添加元素的组成为：（a）Cu 4000-6000ppm；或（b）In 10-150ppm、Ge 10-150ppm和Ca 10-150ppm；或（c）In 10-150ppm和Cu 10-150ppm；或（d）Ge 10-150ppm和Ca10-150ppm；或（e）Cu 10-150ppm和Be 10-150ppm；

所述银合金键合丝的制造方法包括下述步骤：

（1）熔铸：按比例将Au、Pd和微量添加元素加入到银原料中，经过真空熔炼和定向连续引铸工艺，获得直径为6-8毫米的线材；

（2）拉丝：对步骤（1）得到的线材进行拉丝，获得直径为50-280um的银合金线；

（3）中间退火：步骤（2）拉丝完成后，对银合金线进行中间退火，在退火过程中采用N₂来做为退火气氛，退火炉有效长度为600-1000mm，退火温度为300-600℃，退火速率为60-120m/min；

（4）对经步骤（3）中间退火处理的银合金线继续进行拉丝，获得直径为15-40um的银合金线；

（5）最后退火：对步骤（4）得到的银合金线进行最后退火，在退火过程中采用N₂来做为退火气氛，退火炉有效长度为600-1000mm，退火温度为300-600℃，退火速率为60-120m/min；

（6）冷却：最后退火结束后，将银合金线冷却至20-30℃，得到所需的银合金键合丝。

2.权利要求1所述的银合金键合丝的制造方法，其特征在于包括下述步骤：

（1）熔铸：按比例将Au、Pd和微量添加元素加入到银原料中，经过真空熔炼和定向连续引铸工艺，获得直径为6-8毫米的线材；

（2）拉丝：对步骤（1）得到的线材进行拉丝，获得直径为50-280um的银合金线；

（3）中间退火：步骤（2）拉丝完成后，对银合金线进行中间退火，在退火过程中采用N₂来做为退火气氛，退火炉有效长度为600-1000mm，退火温度为300-600℃，退火速率为60-120m/min；

（4）对经步骤（3）中间退火处理的银合金线继续进行拉丝，获得直径为15-40um的银合金线；

（5）最后退火：对步骤（4）得到的银合金线进行最后退火，在退火过程中采用N₂来做为退火气氛，退火炉有效长度为600-1000mm，退火温度为300-600℃，退火速率为60-120m/min；

（6）冷却：最后退火结束后，将银合金线冷却至20-30℃，得到所需的银合金键合丝。