[发明专利]薄膜层叠结构及其制作方法在审
申请号: | 201810703235.5 | 申请日: | 2018-06-30 |
公开(公告)号: | CN108984026A | 公开(公告)日: | 2018-12-11 |
发明(设计)人: | 许晓伟 | 申请(专利权)人: | 云谷(固安)科技有限公司 |
主分类号: | G06F3/041 | 分类号: | G06F3/041;G06F3/044 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 智云 |
地址: | 065500 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基板 纳米金属线 层叠结构 薄膜 基板弯折 保护层 增粘层 粘附性 制作 金属线层 外界环境 移动 内壁 填充 涂覆 磨损 腐蚀 | ||
1.一种薄膜层叠结构,其特征在于,包括:
基板,所述基板上设有若干个凹槽;
纳米金属线层,填充在所述凹槽中;
增粘层,设置在所述纳米金属线层与所述基板之间;以及
保护层,设置在所述基板上,并覆盖所述纳米金属线层。
2.如权利要求1所述的薄膜层叠结构,其特征在于,若干个所述凹槽均匀分布在所述基板上。
3.如权利要求1或2所述的薄膜层叠结构,其特征在于,所述增粘层为金属层。
4.如权利要求3所述的薄膜层叠结构,其特征在于,所述纳米金属线层包括基质及嵌入所述基质中的多根纳米金属线,多根所述纳米金属线之间通过分子力搭接以形成导电网络。
5.如权利要求1或4所述的薄膜层叠结构,其特征在于,所述纳米金属线层为纳米银线层。
6.一种薄膜层叠结构的制作方法,其特征在于,包括:
提供基板,在所述基板上开设若干个凹槽;
在所述凹槽的内壁形成增粘层;
在所述凹槽中形成纳米金属线层;以及
在所述基板上形成保护层,所述保护层覆盖所述纳米金属线层。
7.如权利要求6所述的薄膜层叠结构制作方法,其特征在于,所述基板为柔性基板,所述在所述基板上开设若干个凹槽的步骤包括:刻蚀所述柔性基板以形成若干个凹槽。
8.如权利要求7所述的薄膜层叠结构制作方法,其特征在于,在所述基板的凹槽中形成纳米金属线层的步骤包括:
将纳米金属线溶液涂在所述凹槽中;
去除所述纳米金属线溶液的溶剂,形成所述纳米金属线层。
9.如权利要求8所述的薄膜层叠结构制作方法,其特征在于,通过喷墨打印或印刷的方式将所述纳米金属线溶液涂在所述凹槽中。
10.如权利要求9所述的薄膜层叠结构制作方法,其特征在于,通过加热烘干的方式去除所述纳米金属线溶液的溶剂,形成所述纳米金属线层。
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