[发明专利]刀具装卸治具、刀具装卸方法、刀具取出方法和切削装置有效
申请号: | 201810705551.6 | 申请日: | 2018-07-02 |
公开(公告)号: | CN109216233B | 公开(公告)日: | 2023-08-15 |
发明(设计)人: | 木内逸人;龟田宗 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 于靖帅;乔婉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 刀具 装卸 方法 取出 切削 装置 | ||
1.一种刀具装卸治具,其用于对切削装置的凸缘装卸刀具,该切削装置至少具有:
所述凸缘,其固定在主轴的前端,具有凸台部、供所述刀具嵌合并安装的刀具安装部以及对刀具进行支承的环状的端面;以及
按压部,其与该凸缘一起对该刀具进行夹持而固定,
其中,该刀具装卸治具至少具有:
圆柱状的主体部,其在与该刀具安装部为相同直径的前端部分形成有与该凸台部嵌合的凹部;
把持部,其与该主体部连结,具有比该主体部大的直径;
多个第一空气喷出口,它们形成在该主体部的前端部分;
多个第二空气喷出口,它们形成在该主体部与该把持部的连接部分;
第一连通路径,其借助控制部使该第一空气喷出口与空气源连通;以及
第二连通路径,其借助该控制部使该第二空气喷出口与该空气源连通。
2.根据权利要求1所述的刀具装卸治具,其特征在于,
该刀具装卸治具还具有空气引导单元,该空气引导单元至少具有空气引导面,该空气引导面能够定位在从所述第二空气喷出口向径向外侧喷出的空气的行进方向上。
3.一种刀具装卸方法,该方法使用权利要求1或2所述的刀具装卸治具,其中,
在将所述刀具装卸治具的主体部所保持的刀具安装至所述凸缘时,具有如下的步骤:
定位步骤,使所述凹部嵌合在所述凸台部上,使该主体部和所述刀具安装部连结而定位在同轴上;
安装空气喷出步骤,使空气从所述第一空气喷出口瞬间喷出;以及
移动步骤,利用产生在该刀具与该凸缘之间的负压使该刀具移动至该刀具安装部。
4.一种刀具装卸方法,该方法使用权利要求1或2所述的刀具装卸治具,其中,
在将所述刀具安装部所保持的刀具拆卸时,具有如下的步骤:
定位步骤,使所述凹部嵌合在所述凸台部上,使该主体部与该刀具安装部连结而定位在同轴上;
拆卸空气喷出步骤,使空气从所述第二空气喷出口瞬间喷出;以及
移动步骤,利用产生在该刀具与所述把持部之间的负压使该刀具移动至该主体部。
5.一种刀具取出方法,使用权利要求2所述的刀具装卸治具从以单面露出的状态收纳有所述刀具的收纳容器中将该刀具取出,其特征在于,该刀具取出方法具有如下的步骤:
定位步骤,使所述主体部与该刀具的安装孔连结而定位在同轴上;
取出空气喷出步骤,使空气从所述第二空气喷出口向径向外侧喷出;
引导步骤,通过所述空气引导面将所喷出的空气的方向引导成朝向该刀具的方向;以及
移动步骤,通过产生在该刀具与所述把持部之间的负压以及进入至该收纳容器与该刀具之间的空气,使该刀具移动至该主体部。
6.一种切削装置,其具有:
凸缘,其固定在主轴的前端,具有凸台部、供刀具嵌合并安装的刀具安装部以及对刀具进行支承的环状的端面;
按压部,其与该凸缘一起对该刀具进行夹持而固定;以及
自动刀具更换机构,其对该凸缘自动地装卸刀具,
该切削装置的特征在于,
该自动刀具更换机构至少包含:
刀具架,其分别对使用前的刀具和使用后的刀具进行收纳;以及
臂,其在该刀具架与该主轴之间旋转移动,
在该臂的端部配设有权利要求1或2所述的刀具装卸治具和该按压部的装卸单元。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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