[发明专利]一种掩膜板、隔垫物制作方法、显示面板及显示装置

权利要求书

1.一种采用掩膜板制作隔垫物的方法，其特征在于，包括：

在显示基板上形成一层负性光刻胶层，所述负性光刻胶层采用的材料为具有热流动性和重力作用的光敏材料；

在负性光刻胶层之上设置掩膜板；所述掩膜板包括：遮光层以及在所述遮光层上设定位置开设的多个透光孔；所述透光孔内的边缘设有环状的第一透光膜，所述第一透光膜的透过率小于100％；相邻的两个所述透光孔构成一个透光孔组；在各所述透光孔组内，其中一个所述透光孔内还包括：位于所述第一透光膜环内的第二透光膜；所述第二透光膜的透过率大于所述第一透光膜的透过率，所述第二透光膜的透过率小于100％；

对设置有所述掩膜板的负性光刻胶层曝光显影，保留与隔垫物对应的负性光刻胶层，保留的负性光刻胶层的顶部宽度大于底部宽度；其中，设置所述第二透光膜的透光孔对应的保留的负性光刻胶层底部宽度小于仅设置所述第一透光膜的透光孔对应的保留的负性光刻胶层底部宽度；

对保留的负性光刻胶层进行热固化，形成顶部宽度与底部宽度相等的主隔垫物和副隔垫物；所述主隔垫物的高度大于所述副隔垫物的高度。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一透光膜的透过率为20-50％。

3.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述透光孔的形状为圆形或椭圆形。

4.一种显示面板，其特征在于，包括采用如权利要求1-3任一项所述的方法制作而成的隔垫物。

5.如权利要求4所述的显示面板，其特征在于，所述隔垫物的宽度为8-12μm。

6.一种显示装置，其特征在于，包括权利要求4或5所述的显示面板。