[发明专利]一种光学系统多角度像质检测装置及方法

权利要求书

1.一种光学系统多角度像质检测装置，其特征在于包括干涉仪(1)、干涉仪二维调整基座(2)、干涉仪运动导轨(3)、第一折转镜三维调整基座(4)、第一光路折转反射镜(5)、折转镜移动导轨(6)、第二光路折转反射镜(7)、第二折转镜三维调整基座(8)、被检光学系统(9)、被检设备三维调整基座(10)、被检设备移动导轨(11)、标准镜移动导轨(12)、标准平面反射镜(13)、标准镜三维调整基座(14)以及检测装置支撑架(15)，

其中干涉仪运动导轨(3)固定在检测装置支撑架(15)前方，折转镜移动导轨(6)、被检设备移动导轨(11)以及标准镜移动导轨(12)分别固定在检测装置支撑架(15)上方；

干涉仪(1)放置在干涉仪二维调整基座(2)上，使干涉仪(1)能够进行水平方向的旋转运动，干涉仪二维调整基座(2)安装在干涉仪运动导轨(3)上，使干涉仪(1)能够沿干涉仪运动导轨(3)移动，也就是进行光轴方向的平移；

第一光路折转反射镜(5)活动连接在第一折转镜三维调整基座(4)上，使得第一光路折转反射镜(5)在第一折转镜三维调整基座(4)上进行方位方向以及俯仰方向的转动运动，第一折转镜三维调整基座(4)活动连接在折转镜移动导轨(6)上，使得第一光路折转反射镜(5)通过第一折转镜三维调整基座(4)在折转镜移动导轨(6)上进行沿轨道的上下平移运动；

第二光路折转反射镜(7)活动连接在第二折转镜三维调整基座(8)上，使得第二光路折转反射镜(7)在第二折转镜三维调整基座(8)上进行方位方向以及俯仰方向的转动运动，第二折转镜三维调整基座(8)活动连接在折转镜移动导轨(6)上，使得第二光路折转反射镜(7)通过第二折转镜三维调整基座(8)在折转镜移动导轨(6)上进行沿轨道的上下平移运动；

被检光学系统(9)活动连接在被检设备三维调整基座(10)上，使得被检光学系统(9)能够进行方位方向与俯仰方向的二维转动，被检设备三维调整基座(10)活动连接在被检设备移动导轨(11)上，使得被检光学系统(9)通过被检设备三维调整基座(10)在被检设备移动导轨(11)上进行沿轨道的垂直方向平移运动；

标准平面反射镜(13)活动连接在标准镜三维调整基座(14)上，使得标准平面反射镜(13)能够在标准镜三维调整基座(14)上进行方位与俯仰方向的旋转运动，标准镜三维调整基座(14)活动连接在标准镜移动导轨(12)上，使得标准平面反射镜(13)通过标准镜三维调整基座(14)在标准镜移动导轨(12)上进行沿轨道的竖直方向平移运动。

2.一种采用权利要求1所述的一种光学系统多角度像质检测装置进行像质检测的方法，其特征在于，具体方法如下：

干涉仪(1)通过第一光路折转反射镜(5)、第二光路折转反射镜(7)将检测光束折转并进入安装在被检设备三维调整基座(10)上的被检光学系统(9)内，从被检光学系统(9)出射的检测光束通过标准平面反射镜(13)将检测光束反射回被检光学系统(9)，并经由第二光路折转反射镜(7)、第一光路折转反射镜(5)返回干涉仪(1)中，对被检光学系统(9)的像质进行检测；

其中第一光路折转反射镜(5)、第二光路折转反射镜(7)能够通过改变俯仰角度将干涉仪(1)发射的检测光束通过任意角度输入被检光学系统(9)中，实现被检光学系统(9)与重力方向成不同角度的像质检测以及不同视场的像质检测，检测过程中通过调整被检设备三维调整基座(10)、标准镜三维调整基座(14)的角度与位置，将检测光束返回干涉仪(1)中完成检测。