[发明专利]一种区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置在审

专利信息
申请号: 201810712709.2 申请日: 2018-06-29
公开(公告)号: CN108588815A 公开(公告)日: 2018-09-28
发明(设计)人: 万静;郝大维;李东;李皓;郭宝川;刘承劼;孙晨光;王彦君;孙健 申请(专利权)人: 天津市环欧半导体材料技术有限公司
主分类号: C30B13/00 分类号: C30B13/00
代理公司: 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 代理人: 杨慧玲
地址: 300384 天津市滨海新区*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 钢丝 单晶 毛细铜管 区熔单晶炉 可调节式 旋转底盘 夹持底座 夹持装置 连接杆 弯折状 拔片 夹持装置结构 竖直设置 尾端连接 制造成本 弹性的 上端 铰接 上套 下端
【说明书】:

发明提供了一种区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置,包括旋转底盘、设于旋转底盘上的单晶夹持底座、设于单晶夹持底座上的铰接的拔片连接杆及竖直设置的钢丝;钢丝的上端与拔片连接杆的尾端连接,钢丝的下端与旋转底盘连接,钢丝上套设有一段具有弹性的毛细铜管,毛细铜管呈弯折状,钢丝位于所述毛细铜管内的一段呈与毛细铜管相同的弯折状。本发明所述的区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置结构简单、制造成本低廉、能够实时快捷的调节钢丝长度。

技术领域

本发明属于区熔单晶炉中单晶夹持装置领域,尤其是涉及一种区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置。

背景技术

随着区熔拉制单晶的工艺的日益完善,可拉制的单晶直径也越来越大,而在单晶的拉直过程中,单晶的夹持装置就显得尤为重要,在单晶夹持装置中连接拨片连接杆与炉底旋转底盘的钢丝长度的控制一直为夹持装置的技术难点,起到连接作用的钢丝如果长度过短,会造成夹持装置在使用时钢丝使用寿命的严重缩短甚至钢丝直接被拉断;若钢丝直径过长,则会使拨片连接杆松动,使得夹持装置无法良好的夹持固定住单晶。

发明内容

有鉴于此,本发明旨在提出一种结构简单、制造成本低廉、能够实时快捷的调节钢丝长度的区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置,以解决上述问题。

为达到上述目的,本发明的技术方案是这样实现的:

一种区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置,包括旋转底盘、设于所述旋转底盘上的单晶夹持底座、设于所述单晶夹持底座上的铰接的拔片连接杆及竖直设置的钢丝;所述钢丝的上端与所述拔片连接杆的尾端连接,所述钢丝的下端与所述旋转底盘连接,所述钢丝上套设有一段具有弹性的毛细铜管,所述毛细铜管呈弯折状,所述钢丝位于所述毛细铜管内的一段呈与所述毛细铜管相同的弯折状。

进一步的,所述毛细铜管呈侧躺的V字型结构。

进一步的,所述毛细铜管呈波浪状结构。

进一步的,所述毛细铜管的内壁与所述钢丝的外表面相接触。

进一步的,所述毛细铜管位于所述钢丝的中段。

相对于现有技术,本发明所述的区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置具有以下优势:

本发明所述的区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置,在钢丝上套设有耐高温、可塑性强、具有弹性恢复能力的毛细铜管,毛细铜管呈弯折状,钢丝位于毛细铜管内的一段呈与毛细铜管相同的弯折状,由于毛细铜管具有良好的弹性恢复能力,通过毛细铜管的弹性形变来实时控制钢丝的长度,使钢丝可以一直处于一种合适的拉紧状态,实现对钢丝长度的实时快捷的调节;通过一段弯折的毛细铜管实现钢丝长度的控制,结构简单、快捷有效,无需额外增加其他复杂结构,制造成本低;

附图说明

构成本发明的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解,本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明,并不构成对本发明的不当限定。在附图中:

图1为本发明实施例所述区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置的结构示意图;

图2为图1的A处放大图。

附图标记说明:

1-旋转底盘;2-单晶夹持底座;3-拔片连接杆;4-钢丝;5-毛细铜管;6-支撑柱。

具体实施方式

需要说明的是,在不冲突的情况下,本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

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