[发明专利]紫外线照射机及制作配向膜的设备有效
| 申请号： | 201810712938.4 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN108873488B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 刘崇业 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1337 | 分类号： | G02F1/1337 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 紫外线 照射 制作 设备 | ||
1.一种紫外线照射机，其特征在于，包括：紫外线照射机本体(10)、与所述紫外线照射机本体(10)间隔设置的制冷装置(20)、与所述制冷装置(20)连接的第一气体输入管道(30)、与所述紫外线照射机本体(10)及制冷装置(20)均连接的气体管道(40)；
所述制冷装置(20)用于将第一气体输入管道(30)输入的第一气体的温度冷却至低于一预设的阈值范围内后经过气体管道(40)通入到紫外线照射机本体(10)中；
所述紫外线照射机本体包括设于所述紫外线照射机本体(10)一端的入口(11)，所述紫外线照射机本体(10)内设有光照区(12)；所述光照区(12)覆盖玻璃基板(60)；
所述光照区(12)内设有用于产生紫外线的紫外线灯(121)，该紫外线灯(121)与玻璃基板(60)的间距为2-4mm。
2.如权利要求1所述的紫外线照射机，其特征在于，所述气体管道(40)包括设于所述入口(11)处并与制冷装置(20)连接的第一连接管道(41)以及与所述光照区(12)及制冷装置(20)均连接的第二连接管道(42)；所述制冷装置(20)将第一气体输入管道(30)输入的第一气体的温度冷却至低于一预设的阈值范围内后经过第一连接管道(41)输出到入口(11)，及经过第二连接管道(42)输出到光照区(12)。
3.如权利要求1所述的紫外线照射机，其特征在于，所述第一气体为压缩空气。
4.如权利要求2所述的紫外线照射机，其特征在于，还包括与所述制冷装置(20)连接的第二气体输入管道(50)；所述气体管道(40)还包括与所述光照区(12)及制冷装置(20)均连接的第三连接管道(43)；所述制冷装置(20)将第二气体输入管道(50)输入的第二气体的温度冷却至低于一预设的阈值范围内后经过第三连接管道(43)输出到光照区(12)。
5.如权利要求4所述的紫外线照射机，其特征在于，所述第二气体为稀释气体。
6.如权利要求5所述的紫外线照射机，其特征在于，所述稀释气体为氮气。
7.如权利要求4所述的紫外线照射机，其特征在于，所述制冷装置(20)还用于控制第一连接管道(41)、第二连接管道(42)及第三连接管道(43)的气体流量。
8.一种制作配向膜的设备，其特征在于，包括依次连接的清洗机(1)、烘干机(2)、如权利要求1-7任一项所述的紫外线照射机(3)以及涂布机(4)。
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