[发明专利]光配向装置及方法有效

专利信息
申请号: 201810714111.7 申请日: 2018-06-29
公开(公告)号: CN110658653B 公开(公告)日: 2021-09-03
发明(设计)人: 王春兰;朱树存 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G02F1/1337 分类号: G02F1/1337
代理公司: 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 代理人: 王宏婧
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种光配向装置,其特征在于,包括:光源、工件台、遮光机构以及传动机构;

其中,所述光源提供配向过程所需配向光;所述遮光机构包括多个遮光组件,用于对基板进行分区遮挡;所述遮光机构控制所述遮光组件的翻转实现遮光与透光,变换分区遮挡模式;

所述遮光机构对基板分区遮挡,所述工件台承载所述基板在所述光源照射区域内移动,所述传动机构切换所述遮光机构的遮光工位,完成对基板透光区域的配向;所述遮光机构变换分区遮挡模式以及所述工件台旋转后继续对基板透光区域进行配向,实现在同一基板上进行多角度的分区配向;

所述遮光组件包括遮光板,所述遮光板包括若干遮光片;所述遮光板上升,所述遮光片处于90°状态,所述遮光板位于透光工位;所述遮光板下降,所述遮光片处于0°状态,所述遮光板位于遮光工位。

2.如权利要求1所述的光配向装置,其特征在于,所述遮光组件包括第一驱动器和支撑板;所述遮光机构设有遮光工位和透光工位,所述第一驱动器的一端和所述遮光板相连,另一端与所述支撑板相连;所述第一驱动器驱动所述遮光板上升或下降实现所述遮光板在透光工位和遮光工位之间的切换。

3.如权利要求2所述的光配向装置,其特征在于,所述遮光组件还包括第一连接组件和第二连接组件,所述遮光板包括框架;所述遮光片设置在所述第一连接组件上并通过所述第一连接组件与所述框架相连,所述第一连接组件与所述框架转动连接;所述第二连接组件的一端与所述框架相连,另一端与所述第一连接组件转动连接;所述第一驱动器的一端与所述框架相连,另一端与所述支撑板相连;所述第一驱动器沿竖直方向运动驱动遮光板上升或下降,所述第二连接组件沿水平方向运动驱动所述第一连接组件运动,所述第一连接组件运动驱动所述遮光片翻转实现所述遮光板的遮光与透光。

4.权利要求2所述的光配向装置,其特征在于,所述第一驱动器包括气缸。

5.如权利要求3所述的光配向装置,其特征在于,以水平方向作为0°方向,所述第二连接组件沿水平方向做往复运动驱动所述遮光片在0°状态和90°状态间切换。

6.如权利要求5所述的光配向装置,其特征在于,所述遮光片与水平面平行时,所述遮光片处于0°状态,所述遮光片遮光;所述遮光片与水平面垂直时,所述遮光片处于90°状态,所述遮光片透光。

7.如权利要求3所述的光配向装置,其特征在于,所述遮光片具有空腔结构。

8.如权利要求7所述的光配向装置,其特征在于,所述遮光片的空腔中含有水或压缩空气。

9.如权利要求1所述的光配向装置,其特征在于,所述遮光片的表面呈锯齿状,相邻所述遮光片的遮光范围存在重叠部分。

10.如权利要求2所述的光配向装置,其特征在于,所述遮光工位包括遮光工位一和遮光工位二,所述传动机构驱动所述遮光机构沿水平方向运动,实现所述遮光机构在所述遮光工位一和遮光工位二之间的切换。

11.如权利要求10所述的光配向装置,其特征在于,同一所述基板透光区域进行两次配向,分别在所述遮光机构处于遮光工位一以及所述遮光机构处于遮光工位二时进行配向。

12.如权利要求10所述的光配向装置,其特征在于,所述工件台包括底座和承载台,所述承载台和所述底座相连;所述承载台承载基板,所述底座控制所述工件台的旋转和移动。

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