[发明专利]流体控制装置、流体控制方法和程序存储介质

权利要求书

1.一种流体控制装置，其特征在于，包括：

阻力体，设置于流体流动的流路；

第一阀，在所述流路中设置在比所述阻力体更靠下游侧；

压力传感器，在所述流路中设置在所述阻力体与所述第一阀之间，测定所述阻力体与所述第一阀之间的内部容积部内的流体的压力；以及

控制机构，控制所述第一阀，

所述控制机构包括：

脉冲信号发生器，向所述第一阀输入具有预定的脉冲高度和预定的脉冲宽度的脉冲信号；

反馈值算出部，基于由所述压力传感器测定的压力值，计算出所述第一阀打开的打开期间因所述内部容积部内的所述流体的量减少而在所述内部容积部内产生的压力下降量的时间积分值作为反馈值；以及

信号修正部，基于所述反馈值与基准值的偏差，对从所述脉冲信号发生器输入所述第一阀的脉冲信号进行修正。

2.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，所述基准值是经过所述第一阀的流体的流量成为目标流量时的压力下降量的时间积分值的实际值。

3.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，所述信号修正部在将所述脉冲信号的脉冲宽度保持为恒定的状态下改变脉冲高度，以使所述反馈值与所述基准值的偏差变小。

4.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，所述信号修正部在将所述脉冲信号的脉冲高度保持为恒定的状态下改变脉冲宽度，以使所述反馈值与所述基准值的偏差变小。

5.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，

所述阻力体是能够控制开度的第二阀，

所述控制机构还包括第二阀控制部，所述第二阀控制部控制所述第二阀，以便在所述第一阀关闭的关闭期间使由所述压力传感器测定的压力值与设定压力值的偏差变小。

6.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，所述第一阀具有测定所述第一阀的开度的位移传感器。

7.一种流体控制方法，使用流体控制装置，所述流体控制装置包括：阻力体，设置于流体流动的流路；第一阀，在所述流路中设置在比所述阻力体更靠下游侧；以及压力传感器，在所述流路中设置在所述阻力体与所述第一阀之间，测定所述阻力体与所述第一阀之间的内部容积部内的流体的压力，

所述流体控制方法的特征在于，

包括控制所述第一阀的控制步骤，

所述控制步骤包括：

脉冲信号生成步骤，向所述第一阀输入具有预定的脉冲高度和预定的脉冲宽度的脉冲信号；

反馈值算出步骤，基于由所述压力传感器测定的压力值，计算出所述第一阀打开的打开期间因所述内部容积部内的所述流体的量减少而在所述内部容积部内产生的压力下降量的时间积分值作为反馈值；以及

信号修正步骤，基于所述反馈值与基准值的偏差，对从所述脉冲信号发生器输入所述第一阀的脉冲信号进行修正。

8.一种程序存储介质，其特征在于，存储有流体控制装置用程序，所述流体控制装置用程序是用于流体控制装置的流体控制程序，所述流体控制装置包括：阻力体，设置于流体流动的流路；第一阀，在所述流路中设置在比所述阻力体更靠下游侧；压力传感器，在所述流路中设置在所述阻力体与所述第一阀之间，测定所述阻力体与所述第一阀之间的内部容积部内的流体的压力，

所述流体控制装置用程序被计算机执行时实现控制所述第一阀的控制步骤，

所述控制步骤包括：

脉冲信号生成步骤，向所述第一阀输入具有预定的脉冲高度和预定的脉冲宽度的脉冲信号；

反馈值算出步骤，基于由所述压力传感器测定的压力值，计算出所述第一阀打开的打开期间因所述内部容积部内的所述流体的量减少而在所述内部容积部内产生的压力下降量的时间积分值作为反馈值；以及

信号修正步骤，基于所述反馈值与基准值的偏差，对从所述脉冲信号发生器输入所述第一阀的脉冲信号进行修正。