[发明专利]加热装置及加热方法

说明书

本发明提供一种加热装置及加热方法，所述加热装置能够抑制装置的大型化，并且在基板的表面形成高温的气体流，将不需要的气体从基板的表面附近除去。本发明的加热装置具有多个棒状加热器(20)及包覆棒状加热器(20)的多个外管(30)。从供气部供给的气体在外管(30)的内部经棒状加热器(20)加热。而且，从外管(30)的喷出口(32)向基板(9)喷出加热后的气体。借此，在基板(9)的表面形成高温的气体流，将不需要的气体从基板(9)的表面附近除去。另外，基板(9)的加热与气体的加热是由共同的棒状加热器(20)进行。借此抑制装置的大型化。

技术领域

本发明涉及一种利用棒状加热器对多个基板进行加热的加热装置及加热方法。

背景技术

近年来，作为柔性显示器(flexible display)用基板，聚酰亚胺膜受到关注。现有的聚酰亚胺膜例如已记载在专利文献1中。如专利文献1的段落0004及段落0124中记载那样，制造聚酰亚胺膜时，在载体基板上形成聚酰亚胺膜。另外，如专利文献1的段落0110中记载那样，聚酰亚胺树脂是通过将聚酰亚胺树脂前驱物、或四羧酸二酐及二异氰酸酯化合物在存在溶剂的条件下加热(加热酰亚胺化)而获得。

另外，如专利文献1的段落0126中记载那样，在对聚酰亚胺膜要求无色透明性的情况下，为了抑制着色，优选在氮气等惰性环境下进行加热。

另一方面，对基板进行加热的现有装置例如已记载在专利文献2中。专利文献2的热处理装置具有能够装载多个基板的腔室、及设置在腔室内的多个加热器。如专利文献2的段落0055中记载那样，多个加热器是以覆盖基板的整个面积的方式配置在各基板的上方及下方。另外，专利文献2的段落0069中记载有对腔室内供给氮气等环境气体。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2015-165491号公报

[专利文献2]日本专利第5973728号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

作为可用于聚酰亚胺膜的加热酰亚胺化的装置，例如想到使用专利文献2那样的装置。但是，在进行加热酰亚胺化时，必须防止因加热而产生的溶剂蒸气等不需要的气体再次液化而附着在基板上。因此，要求在基板的表面附近形成氮气等惰性气体的气流，一面将不需要的气体从基板的表面附近除去一面对基板进行加热。

此时，供给于基板的表面附近的惰性气体优选设定为相对较高的温度。其原因在于，若对基板的表面附近供给低温的惰性气体，则也有可能加热中的基板的温度降低，所述不需要的气体被冷却而液化。

然而，若与用于加热基板的加热器无关而另设置用于加热惰性气体的加热器，则装置大型化。因此，想到将用于加热基板的加热器用来加热惰性气体。但是，惰性气体经辐射热穿透。因此，在远离加热器的位置难以利用加热器使惰性气体升温。另外，也想到利用来自经加热器加热的腔室内壁的对流热而加热惰性气体。然而，此方法中为了使惰性气体充分升温，必须增加腔室内壁的表面积。于是，装置仍然大型化。

本发明是鉴于此种情况而成，其目的在于提供一种加热装置及加热方法，所述加热装置能够抑制装置的大型化，并且在基板的表面形成高温的气体流而将不需要的气体从基板的表面附近除去。

[解决问题的技术手段]

为了解决所述问题，本申请的第一发明为一种加热装置，对多个基板进行加热，且所述加热装置具备：加热炉，能够在上下方向上多段地收纳所述多个基板；多个棒状加热器，在所述加热炉的内部沿着所述基板的表面而配置；多个外管，包覆所述多个棒状加热器各者；供气部，对所述多个外管各自的内部供给气体；以及排气部，排出所述加热炉内的气体，并且所述多个外管分别具有喷出口，所述喷出口向所述基板喷出从所述供气部供给的气体。