[发明专利]一种获取高透射率铝合金的化学刻蚀方法有效
申请号: | 201810715979.9 | 申请日: | 2018-07-03 |
公开(公告)号: | CN109055937B | 公开(公告)日: | 2020-06-23 |
发明(设计)人: | 鄢腊梅;李黎;袁友伟 | 申请(专利权)人: | 杭州电子科技大学 |
主分类号: | C23F1/20 | 分类号: | C23F1/20;C22C21/02 |
代理公司: | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人: | 黄前泽 |
地址: | 310018 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 获取 透射率 铝合金 化学 刻蚀 方法 | ||
1.一种获取高透射率铝合金的化学刻蚀方法,其特征在于该方法包括以下步骤:
步骤(1).对铝合金进行机械研磨,表面将氧化铝烧蚀,用乙醇清洗铝合金;
所述的铝合金成分包括如下: Cu 0.1~2 %,Mg 0.3~1.5 %, Si 0.25~2%, Mn 1~1.5 %,Ti 0.5~2%,Fe 1~3 %,V 0.5~2.5 %,Si 1.5~3.5 %,Ni 1~3%,其余为Al和杂质;
步骤(2).将蚀刻液倒入由聚丙烯制成的容器中进行搅拌, 180~280℃下热交联20分钟至3小时;
所述的蚀刻液包括蚀刻剂35~55%,蚀刻抑制剂0.5~5%,活性剂1~8%,螯合剂2~5%,氧化剂2~6%,pH调节剂4~7%,其余为去离子水;
所述的蚀刻剂为氟化氢铵;
所述的蚀刻抑制剂为三盐酸亚精胺、5-氨基四唑硝酸盐、羟乙基哌嗪、5-氟脲嘧啶、甲氨蝶呤中的至少一种;
所述的活性剂为邻苯二甲酸酐、十二烷基苯磺酸钠、聚山梨酯、苯乙烯-甲基丙烯酸甲酯、十二烷基硫酸钠、聚甘油脂肪酸酯、十八烷基三甲基氯化铵、聚乙二醇、四氢呋喃胺中的至少一种;
所述的螯合剂为乙二胺四乙酸、1,10-邻二氮杂菲、聚天冬氨酸、酸式焦磷酸钠中的至少一种;
所述的氧化剂为高铁酸钠、氯酸钠、重铬酸钾、铋酸钠、过氧化氢;
所述的pH调节剂为碳酸氢三钠、氢氧化钠、偏酒石酸、氢氧化钾中的至少一种;
步骤(3)将步骤(1)铝合金浸入上述蚀刻液中5~10分钟,用磁力搅拌器搅拌,温度保持在50~85℃;
步骤(4).将铝合金从蚀刻液中取出,先水洗,再将蚀刻好的铝合金样品在10~30%的氢氧化钠水溶液中处理5~8分钟,保持在70~90℃。
2.如权利要求1所述的一种获取高透射率铝合金的化学刻蚀方法,其特征在于步骤(2)搅拌器采用爱米克斯移动式搅拌器,其搅拌轴偏离槽的中央位置,而且与垂直方向倾斜一定角度,搅拌轴与垂直方向倾斜夹角为5°~20°。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州电子科技大学,未经杭州电子科技大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810715979.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。