[发明专利]一种获取高透射率铝合金的化学刻蚀方法有效

专利信息
申请号: 201810715979.9 申请日: 2018-07-03
公开(公告)号: CN109055937B 公开(公告)日: 2020-06-23
发明(设计)人: 鄢腊梅;李黎;袁友伟 申请(专利权)人: 杭州电子科技大学
主分类号: C23F1/20 分类号: C23F1/20;C22C21/02
代理公司: 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 代理人: 黄前泽
地址: 310018 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 获取 透射率 铝合金 化学 刻蚀 方法
【权利要求书】:

1.一种获取高透射率铝合金的化学刻蚀方法,其特征在于该方法包括以下步骤:

步骤(1).对铝合金进行机械研磨,表面将氧化铝烧蚀,用乙醇清洗铝合金;

所述的铝合金成分包括如下: Cu 0.1~2 %,Mg 0.3~1.5 %, Si 0.25~2%, Mn 1~1.5 %,Ti 0.5~2%,Fe 1~3 %,V 0.5~2.5 %,Si 1.5~3.5 %,Ni 1~3%,其余为Al和杂质;

步骤(2).将蚀刻液倒入由聚丙烯制成的容器中进行搅拌, 180~280℃下热交联20分钟至3小时;

所述的蚀刻液包括蚀刻剂35~55%,蚀刻抑制剂0.5~5%,活性剂1~8%,螯合剂2~5%,氧化剂2~6%,pH调节剂4~7%,其余为去离子水;

所述的蚀刻剂为氟化氢铵;

所述的蚀刻抑制剂为三盐酸亚精胺、5-氨基四唑硝酸盐、羟乙基哌嗪、5-氟脲嘧啶、甲氨蝶呤中的至少一种;

所述的活性剂为邻苯二甲酸酐、十二烷基苯磺酸钠、聚山梨酯、苯乙烯-甲基丙烯酸甲酯、十二烷基硫酸钠、聚甘油脂肪酸酯、十八烷基三甲基氯化铵、聚乙二醇、四氢呋喃胺中的至少一种;

所述的螯合剂为乙二胺四乙酸、1,10-邻二氮杂菲、聚天冬氨酸、酸式焦磷酸钠中的至少一种;

所述的氧化剂为高铁酸钠、氯酸钠、重铬酸钾、铋酸钠、过氧化氢;

所述的pH调节剂为碳酸氢三钠、氢氧化钠、偏酒石酸、氢氧化钾中的至少一种;

步骤(3)将步骤(1)铝合金浸入上述蚀刻液中5~10分钟,用磁力搅拌器搅拌,温度保持在50~85℃;

步骤(4).将铝合金从蚀刻液中取出,先水洗,再将蚀刻好的铝合金样品在10~30%的氢氧化钠水溶液中处理5~8分钟,保持在70~90℃。

2.如权利要求1所述的一种获取高透射率铝合金的化学刻蚀方法,其特征在于步骤(2)搅拌器采用爱米克斯移动式搅拌器,其搅拌轴偏离槽的中央位置,而且与垂直方向倾斜一定角度,搅拌轴与垂直方向倾斜夹角为5°~20°。

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