[发明专利]旅游环境噪音监测MEMS二次声抗匹配矩阵麦克风结构及方法

权利要求书

1.一种旅游环境噪音监测MEMS二次声抗匹配矩阵麦克风结构，其特征在于，包括主腔体以及处于主腔体内的用于装满液体的液体腔，主腔体上设有用于感受声音声波的声音振动膜以及用于保持声音振动膜内外侧压平衡的通气孔，主腔体内还设有一端与声音振动膜连接用于传递声音振动的连杆；液体腔上设有与连杆另一端连接用于在声音振动膜带动连杆振动时受连杆带动振动使得液体腔内液体振动的振动膜以及用于在液体振动时进行伸缩的伸缩膜，液体腔内设有用于感受液体腔内液体振动以产生行波振动的柔性骨架，柔性骨架的一端固定在液体腔的内壁，柔性骨架上设有用于获得声音信号的矩阵传感器；

所述柔性骨架将液体腔分为前室和后室，柔性骨架的另一端与液体腔的腔体侧壁之间形成用于供前室和后室内液体流通的过液孔，振动膜设置在前室侧壁上，伸缩膜设置在后室侧壁上。

2.根据权利要求1所述的旅游环境噪音监测MEMS二次声抗匹配矩阵麦克风结构，其特征在于：所述振动膜、伸缩膜和柔性骨架的一端都设置在液体腔的同一侧壁上。

3.根据权利要求1所述的旅游环境噪音监测MEMS二次声抗匹配矩阵麦克风结构，其特征在于：所述矩阵传感器为MEMS矩阵传感器。

4.一种利用权利要求1至3任一所述旅游环境噪音监测MEMS二次声抗匹配矩阵麦克风结构实现方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）声音的声波传递至主腔体上的声音振动膜，声音振动膜振动；

2）声音振动膜通过连杆将声音声波的振动传递至振动膜，振动膜进行振动，完成第一次声音阻抗匹配功能；

3）振动膜振动，带动液体腔内液体振动，使得柔性骨架产生行波振动，柔性骨架上矩阵传感器获得声音信号，完成第二次声音阻抗匹配功能。

5.根据权利要求4所述的旅游环境噪音监测MEMS二次声抗匹配矩阵麦克风结构实现方法，其特征在于：在步骤3）中，当振动膜内推时，前室内液体通过过液孔流向后室，后室上设置的伸缩膜向外凸出；当振动膜外推时，后室内液体通过过液孔流向前室，伸缩膜向内推进。

6.根据权利要求4所述的旅游环境噪音监测MEMS二次声抗匹配矩阵麦克风结构实现方法，其特征在于：所述主腔体上设有用于保持声音振动膜内外压平衡的通气孔。