[发明专利]AFM针尖磨损测量方法有效
| 申请号： | 201810720887.X | 申请日： | 2018-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN108761137B | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 陈建超;安小广;冯世绪;辛绍贺;王加春 | 申请（专利权）人： | 燕山大学 |
| 主分类号： | G01Q40/00 | 分类号： | G01Q40/00 |
| 代理公司： | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人： | 刘阳 |
| 地址： | 066004 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 针尖 磨损测量 测量 结构参数计算 原子显微镜 尺寸参数 台阶结构 探针标定 针尖结构 直接获取 分析 | ||
1.AFM针尖磨损测量方法，其特征在于，包括如下步骤：
基于已知针尖尺寸的AFM获取纳米台阶的台阶宽度L1，采用已知针尖圆弧半径尺寸的AFM设备，获取纳米台阶上台阶结构台阶宽度尺寸L1并记录；
基于待测针尖尺寸的AFM获取相同的纳米台阶的台阶宽度L2；
根据所述台阶宽度L1和L2的差值，获取待测针尖的半径尺寸为：
（1）
（2）
其中,
R1为已知尺寸的针尖圆弧半径；
R2为待测尺寸的针尖圆弧半径；
h为纳米台阶的高度；
L0为纳米台阶的边缘肩部宽度；
α为探针进入纳米台阶时扫描轨迹与纳米台阶的夹角；
β为探针离开纳米台阶时扫描轨迹与纳米台阶的夹角；
所述根据所述台阶宽度L1和L2的差值，获取待测针尖的半径尺寸的计算过程如下：
（3）
其中，AFM探针进入和离开纳米台阶时，纳米台阶的边缘肩部与探针的棱边接触，将探针的棱边延长与纳米台阶的底面相交，即可获得已知尺寸的探针进入和离开纳米台阶时扫描轨迹与纳米台阶的夹角α和夹角β。
2.如权利要求1所述的AFM针尖磨损测量方法，其特征在于，所述纳米台阶结构为2D栅格结构。
3.如权利要求2所述的AFM针尖磨损测量方法，其特征在于，已知尺寸的针尖圆弧半径和待测尺寸的针尖圆弧半径均小于纳米台阶相邻栅格之间的宽度。
4.如权利要求1所述的AFM针尖磨损测量方法，其特征在于，已知尺寸的针尖圆弧半径和待测尺寸的针尖圆弧半径均小于纳米台阶的高度尺寸。
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