[发明专利]一种热分解薄膜制备反应装置

权利要求书

1.一种热分解薄膜制备反应装置，包括石英管(1)，该石英管的热分解部分位于管式炉(2)的炉腔中，其特征在于：所述石英管(1)进口端的内部同轴设有一根供前驱体气溶胶通过的压缩管(3)，该压缩管的进口端与石英管(1)的进口端之间通过密封结构密封，压缩管(3)的出口端缩口，并在压缩管(3)外壁上套有内冷却管(4)；所述压缩管(3)出口端的外面固套有第一阻热片(5)，该第一阻热片同时与所述石英管(1)的内壁固定并密封；所述石英管(1)出口端处设有密封套(6)，该密封套连接有尾气收集冷却组件，并在石英管(1)出口端外面套有外冷却管(7)；所述石英管(1)出口端的内部同轴设有第二阻热片(8)，该第二阻热片与石英管(1)固定并密封，而第二阻热片(8)与所述第一阻热片(5)之间的石英管(1)内设有沉积舟(C)，该沉积舟用于安装衬底，且沉积舟(C)的位置对应所述管式炉(2)的炉腔；

所述沉积舟(C)包括挡片(9)和挡气块(16)，其中挡片(9)数目为两片，这两片挡片(9)沿所述石英管(1)的轴向设置，并通过中间的轴向连接杆(10)相连；两片所述挡片(9)相背对的表面均分别同轴固定有一个固定环(11)，该固定环与对应的挡片(9)之间同轴夹紧有多个开口垫片(12)，这些开口垫片在圆周上相互错位，且开口垫片(12)与所述石英管(1)内壁紧密接触，挡片(9)和固定环(11)与该石英管(1)内壁之间均留有间隙；两片所述挡片(9)中心处对应开有一个缺口，这两个缺口之间插装有上盖板(13)和下盖板(14)；所述上、下盖板(13、14)的两侧分别设有一根高度调整垫条(15)，该高度调整垫条沿石英管(1)的轴向设置，而上、下盖板(13、14)和两根高度调整垫条(15)之间形成一个长方体状的热解反应腔，且衬底放置在所述下盖板(14)上表面；所述挡气块(16)由条形连接部和遮挡部构成，其中遮挡部为n形结构，遮挡部的连接边顶部与所述条形连接部底端固定，该条形连接部上的条形孔中穿设有锁紧螺母(17)，该锁紧螺母安装在其中一个挡片(9)上，从而可以调整挡气块(16)的高度；所述挡气块(16)位于沉积舟(C)的进气端，并可通过挡气块(16)的遮挡部连接边挡住上盖板(13)与对应挡片(9)缺口之间的缝隙，从而防止前驱体气溶胶从该缝隙处泄露；

所述管式炉(2)的炉盖上开有一个光线加载孔(2a)，且所述上盖板(13)的材质为透明石英材质，从而使加载的短波长光线通过光线加载孔(2a)和上盖板(13)照射到下盖板(14)上的衬底；

所述上、下盖板(13、14)均为绝缘板，并分别与一个电极相连，这两个电极的极性相反。

2.根据权利要求1所述的热分解薄膜制备反应装置，其特征在于：所述尾气收集冷却组件包括尾气收集管(18)和盖板(21)，其中尾气收集管(18)进气端与所述密封套(6)的中心孔相连，该尾气收集管的出气端与U形管(19)的进气端相连，该U形管的出气端与尾气收集器相连；所述U形管(19)位于水冷筒(20)内，该水冷筒(20)顶部的敞口由所述盖板(21)封闭。

3.根据权利要求1所述的热分解薄膜制备反应装置，其特征在于：所述第一阻热片(5)和第二阻热片(8)的数目分别为两片。