[发明专利]一种氧化铟锡靶材的短流程烧结工艺

权利要求书

1.一种氧化铟锡靶材的短流程烧结工艺，其特征在于，将氧化铟锡素坯进行一体化脱脂烧结，得到氧化铟锡靶材；其中，所述氧化铟锡素坯的制备包括：

将氧化铟粉体及氧化锡粉体混合，得到混合粉体；

向混合粉体中加入水、成型剂、分散剂和消泡剂，混合，得到料浆；所述料浆中混合粉体的质量含量设置在50～80％之间，料浆粘度设置在120～3800mpa.s之间，pH值设置在7～9之间；

将料浆采用粉浆浇注成型，得到氧化铟锡素坯，所述氧化铟锡素坯的相对密度设置在58％～72％之间；所述粉浆浇筑成型的注浆压力设置在0.1～0.4MPa之间，注浆保压时间设置在5～20分钟之间；

所述一体化脱脂烧结具体包括：

在空气氛下以0.1～3℃/min升温速度升温至700～800℃，进行脱脂，保持36～48小时；然后通入氧气，在800℃保温4小时，然后以1～5℃/min升温速率升温至1540～1580℃，进行烧结，保温4～10小时；停止通入氧气，以1～3℃/min降温速度降温至200℃，然后自然冷却至室温。

2.根据权利要求1所述的氧化铟锡靶材的短流程烧结工艺，其特征在于，所述一体化脱脂烧结具体包括：

在空气气氛中、在升高的温度下脱脂；然后在氧气气氛中，在升高的温度下烧结；冷却至室温，得到氧化铟锡靶材；

其中，脱脂升温过程包括多个阶段升温区间，在不同的升温区间内温度稳步保持不同的时间；在烧结升温过程包括多个阶段升温区间，在不同的升温区间内温度保持不同的时间。

3.根据权利要求1所述的氧化铟锡靶材的短流程烧结工艺，其特征在于，所述氧气的通入流量设置为1～20L/min。

4.根据权利要求1所述的氧化铟锡靶材的短流程烧结工艺，其特征在于，所述氧化铟粉体与所述氧化锡粉体的质量比设置为9:1。

5.根据权利要求1所述的氧化铟锡靶材的短流程烧结工艺，其特征在于，所述粉浆浇筑成型具体包括：将料浆通过泵压注入石膏模具空腔中，经过静置、脱模、干燥，得到氧化铟锡素坯。