[发明专利]室温NH3有效

专利信息
申请号: 201810722780.9 申请日: 2018-07-04
公开(公告)号: CN109030577B 公开(公告)日: 2020-05-05
发明(设计)人: 刘方猛;贺俊铭;卢革宇;王悦;康博南;孙鹏;闫旭;梁喜双;高原;刘凤敏;王小龙 申请(专利权)人: 吉林大学
主分类号: G01N27/12 分类号: G01N27/12
代理公司: 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 代理人: 刘世纯;王恩远
地址: 130012 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 室温 nh base sub
【权利要求书】:

1.一种基于DPA-Ph-DBPzDCN和金叉指电极的室温氨气传感器的制备方法,其步骤如下:

(1)制备DPA-Ph-DBPzDCN敏感材料:在氮气气氛下,将6mmol的3,6-二溴菲醌和6mmol的4,5-二氨基邻苯二腈加入到15~25mL乙酸中,在120~130℃下加热回流反应7~10小时;将产物洗涤并在250~280℃下真空升华得到淡黄色物质,即3,6-二溴二苯并[a,c]吩嗪-11,12-二腈;将2mmol的3,6-二溴二苯并[a,c]吩嗪-11,12-二腈、4.4mmol的4-二苯氨基苯硼酸、40~50mL四氢呋喃、15~20mL水,在95~105℃下加热回流反应11~13小时,将产物用体积比2~4:1的二氯甲烷和石油醚展开剂柱层析并在410~440℃下真空升华得到DPA-Ph-DBPzDCN敏感材料粉体;

(2)制备敏感材料旋涂液:量取三氯甲烷0.5~1.5mL,并称取步骤(1)制备的DPA-Ph-DBPzDCN敏感材料粉体8~12mg,将三氯甲烷与DPA-Ph-DBPzDCN粉体混合并搅拌均匀,配得敏感材料旋涂液;

(3)通过溅射工艺在Al2O3陶瓷板上制备金叉指电极基底,将步骤(2)制备的敏感材料旋涂液旋涂在金叉指电极基底上,旋涂速率为800~1200rad/s,旋涂时间为60~90s,旋涂4~9层;Al2O3陶瓷板的尺寸为(8~9)mm×(8~9)mm,金叉指电极的对数为8~12对,每个叉指的宽度为60~80μm,相邻叉指的间距为75~85μm;

(4)将步骤(3)得到的器件在80~90℃下烘干有机溶剂,得到的DPA-Ph-DBPzDCN敏感材料薄膜的厚度为3~7μm,从而制备得到基于DPA-Ph-DBPzDCN和金叉指电极的室温氨气传感器。

2.如权利要求1所述的一种基于DPA-Ph-DBPzDCN和金叉指电极的室温氨气传感器的制备方法,其特征在于:是将叉指电极掩膜图形光刻转印到Al2O3陶瓷板上,在氩气气氛下先溅射一层镍作为粘合层,厚度为0.5~1.5μm,再溅射一层金作为电极,厚度为80~120nm;最后去除光刻胶,从而制备得到金叉指电极基底。

3.一种基于DPA-Ph-DBPzDCN和金叉指电极的室温氨气传感器,其特征在于:是由权利要求1或2所述的方法制备得到。

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