[发明专利]一种防真空泵管路堵塞的方法及化学气相镀膜机

权利要求书

1.一种防真空泵管路堵塞的方法，其特征在于，包括如下步骤：

打开气源，反应气体从所述气源通入制程室；

所述制程室中进行化学气相沉膜机镀膜反应；

镀膜后，关闭所述气源，向连接于真空泵出气口的排气管通入加热的惰性气体；

打开所述真空泵，所述制程室中的粉尘及废气经所述排气管通入废气处理装置。

2.根据权利要求1所述的防真空泵管路堵塞的方法，其特征在于，在向排气管通入加热的惰性气体之后，对所述排气管进行保温。

3.根据权利要求1所述的防真空泵管路堵塞的方法，其特征在于，在镀膜后及打开真空泵之前，加热连接于真空泵进气口的进气管。

4.根据权利要求1-3任一项所述的防真空泵管路堵塞的方法，其特征在于，通过在所述排气管的内壁上镀上防粉尘附着的镀膜层以减少粉末在所述排气管内壁的附着几率。

5.一种应用权利要求1-4任一项所述的防真空泵管路堵塞的方法的化学气相镀膜机，包括真空泵、制程室和废气处理装置，所述真空泵和所述制程室之间连接有进气管，所述废气处理装置和所述真空泵之间连接有排气管，其特征在于，所述排气管靠近所述真空泵的一端连通有充气管，所述充气管用于向所述排气管中充入惰性气体，所述充气管上设置有第一加热装置。

6.根据权利要求5所述的化学气相镀膜机，其特征在于，所述排气管上设置有保温装置。

7.根据权利要求5所述的化学气相镀膜机，其特征在于，还包括设置于所述进气管靠近所述真空泵一端的第二加热装置和/或所述排气管靠近所述真空泵一端的第三加热装置。

8.根据权利要求5所述的化学气相镀膜机，其特征在于，至少所述排气管的进气口的内侧壁上镀有防粉尘附着的镀膜层。

9.根据权利要求8所述的化学气相镀膜机，其特征在于，所述防粉尘附着的镀膜层为聚四氟乙烯层。

10.一种化学气相镀膜机，包括真空泵、制程室和废气处理装置，所述真空泵和所述制程室之间连接有进气管，所述废气处理装置和所述真空泵之间连接有排气管，其特征在于，还包括：

镀膜层，设置于所述进气管和所述排气管的内侧壁，用于防止粉尘附着；

充气管，连通于所述排气管靠近所述真空泵的一端，用于向所述排气管通入惰性气体；

第一加热装置，设置于所述充气管，用于对通入所述充气管的惰性气体进行加热；

保温装置，设置于所述排气管，用于对所述排气管内环境进行保温。