[发明专利]一种综合利用氟硅酸钠高效生产氟化钠、氟化铝和四氯化硅的方法

权利要求书

1.一种综合利用氟硅酸钠高效生产氟化钠、氟化铝和四氯化硅的方法，所述方法包括流态化干燥工序(1)、流态化分解工序(2)、气相沉积工序(3)、汽化工序(4)和冷凝工序(5)五个工序，具体按以下步骤进行：

1)氟硅酸钠原料首先经过流态化干燥工序得到无水氟硅酸钠，干燥尾气送碱洗塔处理；

2)无水氟硅酸钠送流态化分解工序，得到氟化钠产品和富四氟化硅混合气；

3)三氯化铝经过汽化工序后进入气相沉积工序与来自分解工序的四氟化硅反应，得到氟化铝产品和富四氯化硅混合气；

4)富四氯化硅混合气进入冷凝工序，冷凝得到四氯化硅产品，冷凝工序尾气送碱洗塔处理；

所述流态化干燥工序(1)的流化气体为氟化氢混合气，氟化氢混合气中氟化氢体积比例为0.1％～15％，其余气体为净化氮气、净化空气、净化氩气中的一种或几种。

2.根据权利要求1所述的利用氟硅酸钠高效生产氟化钠、氟化铝和四氯化硅的方法，其特征是，所述流态化干燥工序(1)采用流化床反应器，干燥温度为0℃～200℃，干燥时间0.1h～36h。

3.根据权利要求1所述的利用氟硅酸钠高效生产氟化钠、氟化铝和四氯化硅的方法，其特征是，所述流态化分解工序(2)中采用流化床反应器，分解温度为400℃～700℃，停留时间15min～300min，流化气体为净化氮气、净化空气、净化氩气中的一种或几种。

4.根据权利要求1所述的利用氟硅酸钠高效生产氟化钠、氟化铝和四氯化硅的方法，其特征是，所述气相沉积工序(3)采用流化床反应器，流化气体为流态化热解工序(2)产生的富四氟化硅混合气，反应温度为200℃～600℃，三氯化铝与四氟化硅的摩尔比1.34～1.50。

5.根据权利要求1所述的利用氟硅酸钠高效生产氟化钠、氟化铝和四氯化硅的方法，其特征是，所述三氯化铝和载气一同进入汽化工序(4)，汽化温度为150℃～300℃，所述载气为净化空气、净化氮气、净化氩气中的一种或几种。

6.根据权利要求1所述的利用氟硅酸钠高效生产氟化钠、氟化铝和四氯化硅的方法，其特征是，所述三氯化铝为无水三氯化铝。