[发明专利]一种强超声辅助法制备组织均匀的高致密ITO靶材在审
| 申请号： | 201810729836.3 | 申请日： | 2018-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN108975904A | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 黎军军;刘碧桃;关有为;闫恒庆;阮海波 | 申请（专利权）人： | 重庆文理学院 |
| 主分类号： | C04B35/457 | 分类号： | C04B35/457;C04B35/622;B28B3/00 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251 | 代理人： | 郭桂峰 |
| 地址： | 402160 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高致密 压强 干法制粒机 超声辅助 超声震荡 模具内部 蓬松颗粒 双重作用 油压机 蓬松 粒径 素坯 填装 压下 制粒 制备 模具 成型 引入 | ||
【权利要求书】：
1.一种组织均匀的高致密ITO靶材的制备方法，其特征在于：
将粒径20～70nm，纯度≥99.99％的ITO(In2O3:SnO2＝9:1，wt％)经过干法制粒机，制成15-20um左右大小的蓬松颗粒；再将经过制粒的蓬松ITO颗粒填装在模具中并放置于冷静压下，调节油压机的压力，将模具内部压强分别设置为400MPa、600MPa、800MPa、1000MPa、1200MPa和1500MPa；引入功率P＝3Kw的超声震荡和冷静压双重作用下成型致密度高达62.2±0.2％的素坯样品。
2.如权利要求1所述的高致密ITO靶材的制备方法，其特征在于：将制得的所述素坯样品在1550℃的温度下烧结2h制得。
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