[发明专利]压电器件、液体喷射头以及液体喷射装置

说明书

本发明提供一种在不阻碍压电元件的位移的条件下抑制了液体供给口的周围的膜的破损的压电器件、液体喷射头以及液体喷射装置。所述压电器件被用于从喷嘴喷射液体的液体喷射头中，并具备：流道形成基板，其形成有与所述喷嘴连通的独立液室和与所述独立液室连通的液体供给室；振动板，其被形成在与所述流道形成基板的所述独立液室和所述液体供给室相对应的位置上；多个液体供给口，其被形成于所述液体供给室；以及压电元件，其包含第一电极、压电体层和第二电极，并且被形成在所述振动板的与所述独立液室相对应的位置上，在所述振动板的与所述液体供给室相对应的位置上层压有金属层，所述液体供给口以贯穿所述振动板和所述金属层的方式被设置。

技术领域

本发明涉及一种具有压电元件的压电器件、具有压电器件的液体喷射头以及具备液体喷射头的液体喷射装置。

背景技术

作为液体喷射头的代表性的示例即喷墨式记录头所使用的压电器件存在如下的方式，即，具备：独立流道，其与喷嘴相连通；流道形成基板，其设置有与独立流道连通的液体供给室；以及压电元件，其隔着振动板而被设置于流道形成基板的一面侧。

在具有这种压电器件的喷墨式记录头中，公开了一种通过在振动板上设置与液体供给室连通的多个液体供给口从而将振动板过滤器化的结构(例如，参照专利文献1)。

但是，在振动板上形成液体供给口的情况下，存在因振动板被施加油墨的供给压而易于破损的问题。

因此，在专利文献1中，通过层压多个层而对形成液体供给口的振动板进行形成，从而对振动板的内部应力进行调节以抑制振动板的破损。但是，由于被层压有多层而使振动板变厚，因此存在阻碍压电元件的变形而使位移特性降低的问题。

此外，这样的问题不仅存在于喷墨式记录头中，在喷射油墨以外液体的液体喷射头所使用的压电器件中也同样存在。

专利文献1：日本特开2013-993号公报

发明内容

本发明鉴于这样的事实情况，其目的在于，提供一种在不阻碍压电元件的位移的条件下抑制了液体供给口的周围的膜的破损的压电器件、液体喷射头以及液体喷射装置。

解决上述课题的本发明的方式的压电器件，其被用于从喷嘴喷射液体的液体喷射头中，其特征在于，具备：流道形成基板，其形成有与所述喷嘴连通的独立液室和与所述独立液室连通的液体供给室；振动板，其被形成在与所述流道形成基板的所述独立液室和所述液体供给室相对应的位置上；多个液体供给口，其被形成于所述液体供给室；以及压电元件，其包含第一电极、压电体层和第二电极，并且被形成在所述振动板的与所述独立液室相对应的位置上，在所述振动板的与所述液体供给室相对应的位置上层压有金属层，所述液体供给口以贯穿所述振动板和所述金属层的方式被设置。

在所涉及的方式中，通过以贯穿振动板和金属层的方式而设置液体供给口，从而能够对因被供给至液体供给室的液体的压力而在液体供给口的周围的振动板以及金属层上产生裂缝等破损的情况进行抑制。另外，由于能够在不改变振动板或压电元件的结构的条件下抑制液体供给口的周围的振动板以及金属层的裂缝等破损，因此能够对层压有多个层而使振动板变厚的情况进行抑制，进而能够对振动板阻碍压电元件的位移的情况进行抑制。

在此，优选为，所述金属层由与所述第一电极或者所述第二电极相同的材料而形成。据此，通过以与第一电极或者第二电极相同的材料而形成金属层，从而能够抑制种类不同的材料的增加，进而能够降低成本。

此外，优选为，所述金属层以与所述第一电极或者所述第二电极为同一层的方式而形成。据此，能够与第一电极或者第二电极同时地形成金属层，从而能够降低成本。

此外，优选为，金属层不与所述第一电极以及所述第二电极电连接。据此，能够抑制第一电极以及第二电极经由金属层而与液体电连接的情况，从而能够抑制由漏电导致的压电元件的动作不良的情况。