[发明专利]玻璃基板非接触式气浮输运装置

权利要求书

1.一种玻璃基板非接触式气浮输运装置，其特征在于，包括气浮导轨(2)，所述气浮导轨(2)可调节设置在基座(3)上，所述气浮导轨(2)上阵列设置有若干凹槽(11)，所述凹槽(11)底部两侧对应设置有进气孔(8)和出气孔(13)，所述凹槽(11)中设置有排气孔(9)，所述进气孔(8)通过三位五通阀连通正压气源(19)，所述出气孔(13)通过三位五通阀连通负压气源(20)，所述排气孔(9)连通负压气源(20)，其中，所述凹槽(11)内设置有凸台(12)，所述排气孔(9)开设在凸台(12)上，所述凹槽(11)内两侧对称设置均压槽(10)，所述排气孔(9)与负压气源之间连通的管道上设置有可调节流阀(21)。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板非接触式气浮输运装置，其特征在于，所述气浮导轨(2)两侧的基座(3)上设置有挡板(14)，所述挡板(14)内设置有若干喷气孔(15)。

3.根据权利要求1所述的玻璃基板非接触式气浮输运装置，其特征在于，所述气浮导轨(2)底部通过调平螺钉(4)与所述基座(3)连接。

4.根据权利要求1所述的玻璃基板非接触式气浮输运装置，其特征在于，所述凹槽(11)内两侧对称设置均压槽(10)，所述进气孔(8)和出气孔(13)设置在均压槽内。