[发明专利]一种Demura多轴自动检测机构

权利要求书

1.一种Demura多轴自动检测机构，包括机架(1)和CCD相机(2)，所述机架(1)上设置有用于驱动所述CCD相机(2)沿竖直Z轴移动的移栽模组(3)，所述移栽模组(3)的活动端连接有连接架(4)，所述CCD相机(2)连接于所述连接架(4)下方；其特征在于：所述连接架(4)与所述CCD相机(2)之间设置有同轴布置的用于驱动所述CCD相机(2)沿水平X轴移动的第一直线滑台(5)、用于驱动所述CCD相机(2)沿竖直Z轴移动的第二直线滑台(8)、用于驱动所述CCD相机(2)绕水平X轴和Z轴旋转的摆动滑台(6)和用于调节所述CCD相机(2)焦距的齿轮调焦机构(7)；所述齿轮调焦机构(7)包括基座(7.1)、驱动源(7.2)、主动齿轮(7.3)和从动齿轮(7.4)；所述基座(7.1)与所述摆动滑台(6)连接，所述基座(7.1)上固接有所述CCD相机(2)和所述驱动源(7.2)，所述驱动源(7.2)的输出端与所述主动齿轮(7.3)固接，所述CCD相机(2)的调焦处固接有所述从动齿轮(7.4)，所述主动齿轮(7.3)和所述从动齿轮(7.4)啮合传动。

2.根据权利要求1所述一种Demura多轴自动检测机构，其特征在于：所述CCD相机(2)和所述齿轮调焦机构(7)之间还设置有调焦限位机构(9)。

3.根据权利要求2所述一种Demura多轴自动检测机构，其特征在于：所述调焦限位机构(9)包括固接于基座(7.1)下端的光电传感器(9.1)和与主动齿轮(7.3)同轴布置的感应环(9.2)，所述感应环(9.2)包括用于与光电传感器(9.1)的配合限位的感应部(9.2-1)和用于套装连接驱动源(7.2)输出端的连接部(9.2-2)。

4.根据权利要求3所述一种Demura多轴自动检测机构，其特征在于：所述连接部(9.2-2)为套筒状，套筒状的连接部(9.2-2)的内径与驱动源(7.2)输出端的外径相对应，套筒状的连接部(9.2-2)沿其径向布置设置多个用于固定感应环(9.2)的螺纹孔。

5.根据权利要求3所述一种Demura多轴自动检测机构，其特征在于：所述光电传感器(9.1)为两个，两个光电传感器(9.1)沿竖直方向上下布置；所述感应环(9.2)为两个，两个感应环(9.2)上的感应部(9.2-1)之间存在一夹角。

6.根据权利要求1所述一种Demura多轴自动检测机构，其特征在于：所述驱动源(7.2)通过安装导向结构与所述基座(7.1)配合连接。

7.根据权利要求6所述一种Demura多轴自动检测机构，其特征在于：所述安装导向结构包括竖直安装导板(10)、水平安装导板(11)和U形连接板(12)，所述竖直安装导板(10)垂直固接于所述基座(7.1)上端，所述竖直安装导板(10)上设置有用于连接所述水平安装导板(11)的沿Z轴方向布置的腰型孔，所述水平安装导板(11)通过螺栓与所述竖直安装导板(10)固接，所述水平安装导板(11)上设置有用于连接所述U形连接板(12)的沿Y轴方向布置的腰型孔，所述水平安装导板(11)通过螺栓连接于所述水平安装导板(11)下端，所述U形连接板(12)上固接有所述驱动源(7.2)。

8.根据权利要求7所述一种Demura多轴自动检测机构，其特征在于：所述U形连接板(12)的端部固接有调焦限位机构(9)。

9.根据权利要求1所述一种Demura多轴自动检测机构，其特征在于：所述移栽模组(3)的活动端与所述第一直线滑台(5)的固定端固接，所述第一直线滑台(5)的活动端与所述第二直线滑台(8)的固定端连接，所述第二直线滑台(8)的活动端与所述摆动滑台(6)的固定端连接，所述摆动滑台(6)的活动端连接有所述齿轮调焦机构(7)。

10.根据权利要求1所述一种Demura多轴自动检测机构，其特征在于：所述移栽模组(3)的活动端与所述第二直线滑台(8)的固定端固接，所述第二直线滑台(8)的活动端与所述第一直线滑台(5)的固定端连接，所述第一直线滑台(5)的活动端与所述摆动滑台(6)的固定端连接，所述摆动滑台(6)的活动端连接有所述齿轮调焦机构(7)。