[发明专利]一种晶圆外观检测机

说明书

本发明公开了一种晶圆外观检测机，包括清理装置，所述清理装置包括固定台、底座、固定板、吹尘枪本体和气泵，所述固定台的上表面开设置有固定滑槽，所述固定板的底端设置有固定卡块，所述固定板和固定台通过卡合连接，所述固定板的顶端设置有活动板，所述活动板的内部开设有固定槽，所述固定槽的一侧设置有吹尘枪本体，所述吹尘枪本体的一侧设置有安装卡块；本发明通过安装气泵和吹尘枪，通过气泵压缩的空气将气体输送到吹尘枪中，从而对检测台进行清理，吹尘枪通过卡合固定在活动板上，可以将吹尘枪卸下手动进行清理，安装拆卸更加方便，通过转动活动板来改变吹尘枪的清理方向，使得清理效果更好。

技术领域

本发明属于晶圆检测技术领域，具体涉及一种晶圆外观检测机。

背景技术

圆晶是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为圆晶，晶圆一般被做成直径6英寸，8英寸或者12英寸的圆柱形棒，在对晶圆进行生产时，为了保证晶圆的生产质量，大多会通过检测机对晶圆外观进行检测。

现有的晶圆检测机不使用时，检测台上会占有灰尘，需要对检测台进行清理，防止灰尘粘附在晶圆表面上，在检测时，会影响检测的效果，现有的检测机大多为安装清理装置，清理时比较麻烦的问题，为此我们提出一种晶圆外观检测机。

发明内容

本发明的目的在于提供一种晶圆外观检测机，以解决上述背景技术中提出的现有的晶圆检测机不使用时，检测台上会占有灰尘，需要对检测台进行清理，防止灰尘粘附在晶圆表面上，在检测时，会影响检测的效果，现有的检测机大多为安装清理装置，清理时比较麻烦的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种晶圆外观检测机，包括清理装置，所述清理装置包括固定台、底座、固定板、吹尘枪本体和气泵，所述固定台的上表面开设置有固定滑槽，所述固定板的底端设置有固定卡块，所述固定板和固定台通过卡合连接，所述固定板的顶端设置有活动板，所述活动板的内部开设有固定槽，所述固定槽的一侧设置有吹尘枪本体，所述吹尘枪本体的一侧设置有安装卡块，且所述吹尘枪本体的另一侧设置有吹尘枪枪头，所述底座的上表面设置有气泵，所述气泵和吹尘枪本体通过气管连接。

优选的，所述固定台和底座之间通过支撑柱进行连接，所述固定台的上表面设置有固定架。

优选的，所述固定台的一侧设置有支撑杆，所述支撑杆的外部设置有滑套，所述滑套的内部贯穿设置有拉伸杆，所述拉伸杆的一侧设置有观察镜头。

优选的，所述底座上表面中间位置设置有检测台，所述检测台和固定架为紧密连接结构。

优选的，所述活动板和固定板通过轴承进行连接，活动板在固定板上可以自由旋转。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明通过安装气泵和吹尘枪，通过气泵压缩的空气将气体输送到吹尘枪中，从而对检测台进行清理，吹尘枪通过卡合固定在活动板上，可以将吹尘枪卸下手动进行清理，安装拆卸更加方便，通过转动活动板来改变吹尘枪的清理方向，使得清理效果更好。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明的侧视结构示意图；

图3为本发明的固定板结构示意图；

图4为本发明的吹尘枪枪头结构示意图；

图5为本发明的吹尘枪枪头和固定板连接结构示意图；

图中：1、拉伸杆；2、固定台；3、支撑柱；4、底座；5、支撑杆；6、滑套；7、观察镜头；8、吹尘枪本体；9、固定板；10、固定架；11、检测台；12、吹尘枪枪头；13、固定滑槽；14、气泵；15、活动板；16、固定槽；17、固定卡块；18、安装卡块。

具体实施方式