[发明专利]抛光摩擦力的测量装置及其测量方法有效
申请号: | 201810737394.7 | 申请日: | 2018-07-06 |
公开(公告)号: | CN108608328B | 公开(公告)日: | 2023-09-26 |
发明(设计)人: | 廖德锋;谢瑞清;赵世杰;周炼;钟波;陈贤华;王健;许乔 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
主分类号: | B24B49/00 | 分类号: | B24B49/00;G01L5/00;G01L5/16 |
代理公司: | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人: | 蒲敏 |
地址: | 621000*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 抛光 摩擦力 测量 装置 及其 测量方法 | ||
1.抛光摩擦力的测量方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:
1)将各个应力测试部件(1)通过U形夹板(5)卡在工件孔(24)上,调节紧固螺钉(7),确保每个应力测试部件(1)完全固定在工件盘(23)上,将待测元件放在工件孔(24)内;所述抛光摩擦力的测量方法的测量装置包括多个应力测试部件(1),所述应力测试部件(1)包括U形夹板(5),在所述U形夹板(5)上设置有应力传感器(10),在所述应力传感器(10)上设置有信号传输线(11)和承载接触块(12),所述信号传输线(11)与信号接收器(13)连接,所述信号接收器(13)将数据发送给电脑;所述信号接收器(13)设置有WIFI功能,可将应力传感器(10)测量的承载接触块(12)的负载力数据发送给电脑;
2)开启抛光盘(22)和工件盘(23)逆时针方向匀速旋转运动,然后开启信号接收器(13)和电脑;
3)当第1应力测试部件(1)对应的待测元件侧边旋转到抛光盘(22)的外侧并与工件盘(23)的偏距方向垂直时,开始记录各个应力测试部件(1)测量的负载压力数据,信号接收器(13)实时接收各个应力测试部件(1)测量的负载压力数据,并将数据发送给电脑,各个应力测试部件1测量m个取样点后停止记录数据;4)以工件盘(23)的偏距方向为X轴,工件盘(23)的中心为原点建立直角坐标系,各个应力测试部件(1)在同一时刻的取样点i所测作用力之和的径向分量、周向分量和综合值分别为:
其中:
θk为各个应力测试部件(1)在开始记录数据时的初始相位角;
k=1、…、n,表示第1、…、n应力测试部件(1);
i=1、…、m,表示各个应力测试部件(1)分别测量的第1、…、m个取样点;
Fk(i),表示各个应力测试部件(1)分别测量的第i=1、…、m个取样点的数据;
是各个应力测试部件(1)在采样周期内旋转的角度,各个应力测试部件(1)的采样周期设为t(s),工件盘(23)的转速设为ω(RPM),分别测量的m个取样点对应的相位角为
2.如权利要求1所述的抛光摩擦力的测量方法,其特征在于:步骤1)所述将待测元件放在工件孔(24)内,这时所述应力测试部件(1)的承载接触块(12)与元件之间的距离控制在5mm范围内。
3.如权利要求1所述的抛光摩擦力的测量方法,其特征在于:所述应力测试部件(1)还包括紧固螺钉(7)、活动压板(9)和把持弹簧(8),在所述U形夹板(5)的上端侧设置有贯穿螺孔(6),在所述U形夹板(5)的上端侧的内侧与下端侧的内侧之间设置有活动压板(9),且所述活动压板(9)通过多个把持弹簧(8)与U形夹板(5)的上端侧的内侧连接,所述紧固螺钉(7)穿过所述贯穿螺孔(6)与活动压板(9)接触,所述活动压板(9)与U形夹板(5)的下端侧的内侧的距离通过紧固螺钉(7)调节。
4.如权利要求1或3所述的抛光摩擦力的测量方法,其特征在于:所述承载接触块(12)具有光滑表面。
5.如权利要求1或3所述的抛光摩擦力的测量方法,其特征在于:所述信号接收器(13)具有内置电池。
6.如权利要求1或3所述的抛光摩擦力的测量方法,其特征在于:所述应力测试部件(1)的最大量程不小于被测光学元件的重力和加载压力之和,测量精度不小于最大量程的2%。
7.如权利要求1或3所述的抛光摩擦力的测量方法,其特征在于:对于圆形光学元件来说,设置3-12个应力测试部件(1),并均布安装在圆形工件孔上。
8.如权利要求1或3所述的抛光摩擦力的测量方法,其特征在于:对于方形或矩形光学元件来说,设置4-12个应力测试部件(1),工件孔的每条边上设置1-3个应力测试部件(1)。
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