[发明专利]清扫系统、透明基板的清扫方法及电子部件的制造方法

权利要求书

1.一种清扫系统，去除附着于薄板表面的异物，所述清扫系统包括：

输送装置，输送所述薄板；以及

清扫装置，具有与通过所述输送装置输送的所述薄板表面对置地配置的清扫部，

所述清扫装置包括相对移动机构，所述相对移动机构在为了清扫而使所述清扫部直接或间接地接触于所述薄板表面的状态下使所述清扫部反复进行相对于所述薄板表面的相对性的静止动作和移动动作。

2.根据权利要求1所述的清扫系统，其中，

所述输送装置向一方向输送由所述清扫装置清扫的清扫状态的所述薄板表面。

3.根据权利要求2所述的清扫系统，其中，

所述相对移动机构在所述移动动作时使所述清扫部相对于所述薄板表面向所述一方向、或者向所述一方向以及所述一方向的相反方向移动。

4.根据权利要求3所述的清扫系统，其中，

所述相对移动机构交替地反复进行所述一方向的移动动作以及所述相反方向的移动动作，

在所述移动动作中，由所述相对移动机构移动的所述清扫部的最大移动速度比由所述输送装置输送的所述薄板表面的移动速度快。

5.根据权利要求1所述的清扫系统，其中，

所述清扫装置还包括切换机构，所述切换机构使所述清扫部在与所述薄板表面直接或间接地接触的状态和与所述薄板表面分离的状态间切换。

6.根据权利要求1所述的清扫系统，其中，

所述清扫部隔着织物构件而间接地接触于所述薄板表面。

7.根据权利要求6所述的清扫系统，其中，

所述清扫装置还包括向所述清扫部供给织物构件的供给机构。

8.根据权利要求7所述的清扫系统，其中，

所述清扫装置还包括：

柱状构件，在所述柱状构件的前端面上具有所述清扫部；以及按压构件，将织物构件按压到所述柱状构件而防止从所述供给机构向所述清扫部供给的长条状的织物构件与所述清扫部偏离。

9.根据权利要求8所述的清扫系统，其中，

所述柱状构件在所述前端面与侧壁面之间具有边缘。

10.根据权利要求1所述的清扫系统，其中，

所述输送装置还具有向所述清扫部供给清洗液的供给喷嘴。

11.根据权利要求2所述的清扫系统，其中，

所述输送装置还具有保持所述薄板的保持部和使该保持部向所述一方向行走的轨道。

12.根据权利要求1所述的清扫系统，其中，

所述清扫系统包括：

第一所述输送装置，从薄板的一面保持所述薄板；

第一所述清扫装置，对通过第一所述输送装置输送的所述薄板的另一面进行清扫；

第二所述输送装置，从所述薄板的另一面保持通过第一所述清扫装置清扫了一面的所述薄板；以及

第二所述清扫装置，对通过第二所述输送装置输送的所述薄板的一面进行清扫。

13.一种透明基板的清扫方法，对透明基板的表面进行清扫，

在所述透明基板的清扫方法中，通过根据权利要求1所述的清扫系统对所述透明基板的表面进行清扫。

14.一种电子设备的制造方法，制造包含透明基板的电子设备，

所述电子设备的制造方法具有利用根据权利要求13所述的透明基板的清扫方法的清扫工序。