[发明专利]一种气动装置和光刻装置

权利要求书

1.一种气动装置，其特征在于，包括气控块和气控通路，所述气控块内部设置有气体切换腔室、柔性薄片、大气管路、第一真空支路和第二真空支路，所述气控通路的两端分别与所述气体切换腔室和待控对象连通；

所述气体切换腔室密封设置，所述柔性薄片设置于所述气体切换腔室内，用于将所述气体切换腔室分为相互隔离的第一隔离区和第二隔离区，所述第一隔离区始终与所述第一真空支路、气控通路连通，所述第二隔离区始终与所述第二真空支路连通；

所述大气管路的第一端连通环境大气，第二端设置于所述第一隔离区内，当所述第一真空支路抽真空时，所述柔性薄片向所述第一隔离区方向发生变形，并密封所述大气管路的第二端，所述气控通路将所述第一真空支路输入的真空导向所述待控对象；

当所述第二真空支路抽真空时，所述柔性薄片向所述第二隔离区方向发生变形，所述大气管路与所述气控通路连通，所述气控通路将所述大气管路输入的大气导向所述待控对象。

2.根据权利要求1所述的气动装置，其特征在于，所述气控块由第一分流块和第二分流块拼接形成；

所述第一隔离区开设于所述第一分流块面向所述第二分流块的一侧，所述第二隔离区开设于所述第二分流块面向所述第一分流块的一侧，所述第一分流块和所述第二分流块拼接后，所述第一隔离区和所述第二隔离区形成所述气体切换腔室，所述柔性薄片位于所述第一分流块与所述第二分流块的拼接处，分别作为所述第一隔离区和所述第二隔离区的密封面。

3.根据权利要求2所述的气动装置，其特征在于，还包括第一电磁阀；

所述第一真空支路的第一端与所述气体切换腔室的第一隔离区连通，其第二端与所述第一电磁阀的第一输出端连接，所述第二真空支路的第一端与所述气体切换腔室的第二隔离区连通，其第二端与所述第一电磁阀的第二输出端连接，所述第一电磁阀的输入端连接真空源。

4.根据权利要求2所述的气动装置，其特征在于，所述气动装置还包括隔离管路；

所述隔离管路设置于所述气体切换腔室的第一隔离区，且隔离管路的导通方向垂直于所述柔性薄片的表面，所述隔离管路用于将所述第一隔离区分为内部空间和外部空间，所述隔离管路内部为所述内部空间，所述隔离管路外部的所述第一隔离区为所述外部空间；

所述内部空间始终与所述第一真空支路和所述气控通路连通，所述外部空间始终与所述大气管路连通；

当所述第一真空支路抽真空时，所述柔性薄片向所述隔离管路方向变形，并与所述隔离管路的端部贴紧，以将所述内部空间和所述外部空间隔离，当所述第二真空支路抽真空时，所述柔性薄片与所述隔离管路的端部分离，以将所述内部空间和所述外部空间连通。

5.根据权利要求4所述的气动装置，其特征在于，所述柔性薄片面向所述第二隔离区的表面具有第一凸起；

所述隔离管路在所述柔性薄片上的垂直投影位于所述第一凸起在所述柔性薄片的垂直投影内。

6.根据权利要求5所述的气动装置，其特征在于，所述柔性薄片面向所述第一隔离区的表面具有环形凸起，所述环形凸起位于所述柔性薄片的边缘；

所述第二分流块靠近所述柔性薄片的表面设置环形凹槽，所述环形凸起与所述环形凹槽卡合。

7.根据权利要求6所述的气动装置，其特征在于，所述柔性薄片为圆形，所述第一凸起为圆柱形，所述环形凸起为圆环形。

8.根据权利要求7所述的气动装置，其特征在于，所述柔性薄片的厚度为0.4～0.6mm，所述第一凸起的厚度为1.4～1.6mm，所述第一凸起的直径为5.2～7.2mm；所述环形凸起的内径为12～14mm，外径为15～17mm。

9.根据权利要求5所述的气动装置，其特征在于，所述气体切换腔室的远离所述第一隔离区的一面与所述柔性薄片的第一凸起之间的距离为0.4～0.6mm。