[发明专利]柔性场发射冷阴极的制备方法及柔性场发射设备在审
| 申请号： | 201810743187.2 | 申请日： | 2018-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN109065423A | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 赵江;项扬军;施庆玲;周紫薇;罗劲松;嵇光晗 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 姚姣阳 |
| 地址： | 210046 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 场发射冷阴极 制备 金属锌 氧化锌纳米线阵列 场发射设备 加热处理 衬底 | ||
1.一种柔性场发射冷阴极的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1，选取金属锌箔作为柔性衬底；
S2，将金属锌箔进行加热处理，使金属锌箔的表面生成氧化锌纳米线阵列，该氧化锌纳米线阵列即为柔性场发射冷阴极。
2.如权利要求1所述的柔性场发射冷阴极的制备方法，其特征在于：步骤S1中的金属锌箔需要先进行打磨和超声处理，然后取出、晾干。
3.如权利要求2所述的柔性场发射冷阴极的制备方法，其特征在于：所述金属锌箔放在乙醇或丙酮溶液中进行超声处理。
4.如权利要求3所述的柔性场发射冷阴极的制备方法，其特征在于：所述金属锌箔进行超声处理的时间为30～90秒。
5.如权利要求1所述的柔性场发射冷阴极的制备方法，其特征在于：步骤S2具体为：将金属锌箔置于马弗炉中，在预设温度下进行热氧化，使金属锌箔的表面生成氧化锌纳米线阵列，该氧化锌纳米线阵列即为柔性场发射冷阴极。
6.如权利要求5所述的柔性场发射冷阴极的制备方法，其特征在于：所述预设温度为300～750摄氏度。
7.如权利要求5所述的柔性场发射冷阴极的制备方法，其特征在于：所述金属锌箔热氧化的时间为0.5～8小时。
8.如权利要求1所述的柔性场发射冷阴极的制备方法，其特征在于：在步骤S2中，所述氧化锌纳米线阵列垂直分布于所述金属锌箔的表面。
9.一种柔性场发射设备，其特征在于：包括阴极、阳极以及将所述阴极和所述阳极平行隔开的绝缘的云母片，所述阴极为权利要求1-8中任一项所述的氧化锌纳米线阵列。
10.如权利要求9所述的柔性场发射设备，其特征在于：所述阳极为表面溅射铜层的柔性PET膜。
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