[发明专利]LD模块冷却装置和激光装置

权利要求书

1.一种LD模块冷却装置，具备：

冷却板；

多个冷却部流路，其形成于所述冷却板，与排列于所述冷却板的表面的多个LD模块的位置对应并且供用于冷却所述LD模块的冷却介质流动；

共通供给流路，其形成于所述冷却板，并且向所述多个冷却部流路并行地供给冷却介质；以及

共通排出流路，其形成于所述冷却板，并且从所述多个冷却部流路并行地排出冷却介质，

其中，所述冷却部流路形成为与所述冷却板的表面平行的薄层流路，并且所述冷却部流路在流路长度的至少大部分中流路高度和流路宽度是固定的，

在从所述冷却板的表面侧观察时，由流路长度×流路宽度划定的所述冷却部流路的矩形形状同所述冷却板与所述LD模块之间的主要接触面至少有大部分重叠，

所述冷却部流路的流路高度满足相对于流路长度和流路宽度为1/20以下的条件、以及流路高度为0.5mm以下的条件中的至少一个条件，

在所述冷却部流路内流动的冷却介质的因管摩擦引起的压力损失比在所述共通供给流路和所述共通排出流路内流动的冷却介质的因管摩擦引起的压力损失大。

2.根据权利要求1所述的LD模块冷却装置，其特征在于，

在所述冷却板的表面并列有多个由所述多个冷却部流路构成的列，

所述共通供给流路具有沿着由所述多个冷却部流路构成的列延伸且向所述列内的所述多个冷却部流路并行地供给冷却介质的分支共通供给流路，

所述共通排出流路具有沿着由所述多个冷却部流路构成的列延伸且将从所述列内的所述多个冷却部流路并行地流出的冷却介质排出的分支共通排出流路，

在至少一组以上的相邻的所述分支共通供给流路与所述分支共通排出流路之间配置有比所述冷却板的导热率低的隔热部。

3.根据权利要求1或2所述的LD模块冷却装置，其特征在于，

在所述冷却部流路内的至少一部分设置有沿流路宽度方向对所述冷却部流路内部进行分割的一个以上的脊部。

4.根据权利要求1或2所述的LD模块冷却装置，其特征在于，

所述LD模块具有排列成一列的多个LD芯片，

排列于所述冷却板的表面的LD模块存在如下关系：在从所述冷却板的表面侧观察时，所述LD芯片的列的方向与在所述冷却部流路中流动的冷却介质的流动方向交叉。

5.根据权利要求1或2所述的LD模块冷却装置，其特征在于，

所述冷却部流路的流路宽度比所述冷却部流路的流路长度大。

6.根据权利要求1或2所述的LD模块冷却装置，其特征在于，

在所述冷却板的背面配置至少一个以上的LD模块，

所述冷却板具有用于对配置于所述冷却板的背面的所述LD模块进行冷却的冷却部流路。

7.根据权利要求1或2所述的LD模块冷却装置，其特征在于，

所述冷却板包括：基板，其在至少一面上形成有成为所述共通供给流路和所述共通排出流路的凹部；以及至少一个金属制板件，

其中，通过在所述基板的至少一面上接合所述金属制板件来在所述凹部与所述金属制板件之间形成所述共通供给流路和所述共通排出流路。

8.根据权利要求7所述的LD模块冷却装置，其特征在于，

所述金属制板件的材质为铜或铜合金。

9.根据权利要求7所述的LD模块冷却装置，其特征在于，

所述基板的材质与所述金属制板件的材质不同。

10.根据权利要求7所述的LD模块冷却装置，其特征在于，

所述冷却部流路是由在所述金属制板件的所述基板侧的表面形成的槽构成的。

11.根据权利要求1或2所述的LD模块冷却装置，其特征在于，

所述冷却部流路是通过所述冷却板与所述LD模块的封装件之间的配合来在所述冷却板与所述LD模块的封装件之间形成的。