[发明专利]冷氢化生产方法和系统

权利要求书

1.一种冷氢化生产方法，其特征在于，包括如下步骤：

对氢气和四氯化硅的混合气进行一次加热；

对一次加热后的混合气进行二次加热；

使先后经过两次加热的氢气和四氯化硅的混合气与硅粉进行一次反应；

利用一次反应的部分尾气的热量对一次加热后的混合气进行换热处理，经过换热处理后的混合气再进行二次加热；

使经过换热处理后的所述部分尾气与一次反应的其余尾气一起与硅粉进行二次反应。

2.根据权利要求1所述的生产方法，其特征在于，在对氢气和四氯化硅的混合气进行一次加热之前，还包括如下步骤：

对氢气进行加热处理；

将液态四氯化硅加热汽化；

将加热后的氢气与汽化后的四氯化硅按照预设比例进行混合，以形成氢气和四氯化硅的混合气。

3.根据权利要求1或2所述的生产方法，其特征在于，在所述使一次反应的尾气与硅粉进行二次反应的步骤之后，还包括如下步骤：

对二次反应的尾气进行冷却处理，以分离出其中的三氯氢硅与四氯化硅的混合物。

4.一种冷氢化生产系统，其特征在于，包括：

混合气一级加热器，用于对氢气和四氯化硅的混合气进行一次加热；

混合气二级加热器，用于将所述混合气一级加热器输出的一次加热后的混合气进行二次加热；

一级反应器，用于使先后经过所述混合气一级加热器和所述混合气二级加热器加热的氢气和四氯化硅的混合气与其内的硅粉进行一次反应；

混合气换热器，其分别与所述混合气一级加热器、所述混合气二级加热器和所述一级反应器连接，用于利用所述一级反应器的部分尾气的热量对所述混合气一级加热器输出的一次加热后的混合气进行换热处理；其中经过所述混合气换热器换热处理后的混合气输出至所述混合气二级加热器，并由所述混合气二级加热器对经过换热处理后的混合气进行二次加热；

二级反应器，用于使经过所述混合气换热器换热处理后的所述部分尾气和所述一级反应器的其余尾气一起与其内的硅粉进行二次反应。

5.根据权利要求4所述的生产系统，其特征在于，还包括：

氢气加热器，用于对氢气进行加热处理；

四氯化硅汽化器，用于将液态四氯化硅加热汽化；

气体混合器，其分别与所述氢气加热器和所述四氯化硅汽化器连接，用于将所述氢气加热器输出的加热后的氢气与所述四氯化硅汽化器输出的汽化后的四氯化硅按照预设比例进行混合，以形成氢气和四氯化硅的混合气。

6.根据权利要求4或5所述的生产系统，其特征在于，还包括：

冷却器，其与所述二级反应器连接，用于将所述二级反应器的尾气进行冷却处理，以分离出其中的三氯氢硅与四氯化硅的混合物。