[发明专利]一种VAD制备光纤预制棒的沉积装置

权利要求书

1.一种VAD制备光纤预制棒的沉积装置,包括有沉积腔体和旋转升降吊杆，对应于旋转升降吊杆的下方一侧安设有包层喷灯和芯层喷灯，沉积墙体的两侧分别安设进风装置和抽风装置，用于抽排沉积腔体内未沉积的多余反应物，对应于旋转升降吊杆的下方在沉积腔体外设置有激光检测装置，所述的激光检测装置包括激光发射端和激光接收端，所述的激光发射端和激光接收端分设在沉积腔体外两侧，其特征在于对应于激光发射端和激光接收端在沉积腔体两侧分别设置锥筒形隔离罩。

2.按权利要求1所述的VAD制备光纤预制棒的沉积装置，其特征在于所述的锥筒形隔离罩包括锥筒形罩体，锥筒形罩体的小端开设有进光孔，大端为玻璃窗口安设有滤波片，进光孔为前端，朝向沉积腔体内腔。

3.按权利要求2所述的VAD制备光纤预制棒的沉积装置，其特征在于所述的锥筒形罩体为圆锥形、椭圆锥形或棱锥形罩体，锥面与中心线的夹角为15~45°。

4.按权利要求2或3所述的VAD制备光纤预制棒的沉积装置，其特征在于所述的锥筒形罩体的大端向后延伸有一段等截面筒体。

5.按权利要求2或3所述的VAD制备光纤预制棒的沉积装置，其特征在于所述的锥筒形罩体侧向开设有进气孔，所述的进气孔与压力气源相连通，使锥筒形罩体内腔维持正压状态。

6.按权利要求1或2所述的VAD制备光纤预制棒的沉积装置，其特征在于所述的锥筒形隔离罩安设在沉积腔体内，并通过罩体大端与沉积腔体侧壁相联。

7.按权利要求1或2所述的VAD制备光纤预制棒的沉积装置，其特征在于所述的锥筒形隔离罩安设在沉积腔体外，并通过罩体小端与沉积腔体侧壁相联。

8.按权利要求1或2所述的VAD制备光纤预制棒的沉积装置，其特征在于所述的激光发射端和激光接收端之间的连线与两个对应配置的锥筒形隔离罩中心线相重合，所述连线与靶棒最下端底部齐平并偏离中心点5~30mm。

9.按权利要求8所述的VAD制备光纤预制棒的沉积装置，其特征在于所述芯层喷灯的喷射轴线在水平方向与激光发射端和激光接收端之间的连线的夹角为40~60°。

10.按权利要求1或2所述的VAD制备光纤预制棒的沉积装置，其特征在于所述的锥筒形隔离罩轴向长度为80~500mm，进光孔孔径大于激光光斑外径。