[发明专利]一种分段式等离子体束扫描装置有效
| 申请号： | 201810754776.0 | 申请日： | 2018-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN110718436B | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 张喻召 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/67 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 段式 等离子体 扫描 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种分段式等离子体束扫描装置,其特征在于，包括：前极板(1)、中间极板(2)、后极板(3)、绝缘瓷柱(4)、运动轴(5)，采用三对分开的扫描电极结构，每对扫描电极板单独加独立的电压；前极板(1)、中间极板(2)、后极板(3)沿运动轴(5)方向运动，从而控制电极板之间的距离；
在高能离子束通过扫描极板时，减小扫描极板间的距离，从而减小加在电极板上的电压；
在低能束流通过扫描极板时，增大扫描极板间的距离，从而使加在电极板上的电压不会太小。
2. 如权利要求1所述的分段式等离子体束扫描装置，其特征在于，通过绝缘瓷柱(4)来保证前极板(1)、中间极板(2)、后极板(3) 之间的绝缘和电极板与支撑装置之间的绝缘。
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