[发明专利]制程配方监控方法及制程配方监控系统

权利要求书

1.一种制程配方监控方法，其特征在于，其包括以下步骤：

接收一使用者设备的连线请求；以及

接收该使用者设备的一回溯命令，包括以下步骤：

判断是否能执行一回溯模式；

进入一锁定状态，以限制仅供该使用者设备控制一资料库与一配方描述资料库，其中该资料库中的一目前配方档包含一主版本版次资料与数个次配方资料，各该次配方资料包含一次配方项目、一次配方版本资料与一次配方数值，该配方描述资料库包含一配方规则描述档，依据该配方规则描述档执行该目前配方档；

依据一目标主版本资料的数个目标次配方项目与数个目标次配方数值，复原该目前配方档中相对应的该次配方项目与该次配方数值；

记录经回溯后的该目前配方档中该主版本版次资料与各该次配方版本资料；及

存取经回溯后的该目前配方档。

2.根据权利要求1所述的制程配方监控方法，其特征在于，复原该目前配方档中相对应的该次配方项目与该次配方数值的步骤，包括以下步骤：

将各该次配方项目与相对应的该次配方数值复原至该目标主版本资料中相对应的该目标次配方项目与该目标次配方数值。

3.根据权利要求1所述的制程配方监控方法，其特征在于，复原该目前配方档中相对应的该次配方项目与该次配方数值的步骤，包括以下步骤：

判断各该次配方项目是否能对应至目标主版本资料中相应的各该目标次配方项目；

若有无法对应的该次配方项目，保留该目前配方档中的无法对应的该次配方项目与对应的该配方数值；以及

若有能对应的该次配方项目，将能对应的该次配方项目的该配方数值取代为对应的该目标次配方项目的该目标次配方数值。

4.根据权利要求1所述的制程配方监控方法，其特征在于，当该回复模式为一回复特定次配方模式，记录经回溯后的该目前配方档中该主版本版次资料与各该次配方版本资料的步骤，包括以下步骤：

递增各该次配方版本资料；以及

保留未经回溯的各该次配方版本资料。

5.根据权利要求1所述的制程配方监控方法，其特征在于，判断是否能执行该回溯模式的步骤，包括以下步骤：

判断该资料库与该配方描述资料库是否为该锁定状态；以及

判断是否具有权限。

6.根据权利要求5所述的制程配方监控方法，其特征在于，判断是否具有权限的步骤，若否，包括以下步骤：

拒绝该使用者设备登入，并通知该使用者设备。

7.根据权利要求5所述的制程配方监控方法，其特征在于，判断是否具有权限的步骤，包括以下步骤：

判断是否能登入；

取得该配方规则描述档；以及

检视该配方规则描述档是否能被执行。

8.根据权利要求7所述的制程配方监控方法，其特征在于，检视该配方规则描述档是否能被执行的步骤，包括以下步骤：

判断该使用者设备是否有权限能编辑该配方规则描述档；以及

检视是否能供该使用者设备编辑该配方规则描述档。

9.根据权利要求1所述的制程配方监控方法，其特征在于，判断是否能执行该回溯模式的步骤，若否，包括以下步骤：

拒绝该使用者设备，并通知该使用者设备。

10.根据权利要求1所述的制程配方监控方法，其特征在于，存取经回溯后的该目前配方档至该资料库的步骤的后，包括以下步骤：

判断是否有一另一使用者设备的连线请求；

若否，解除该锁定状态；以及

若有，通知该另一使用者设备，并更新经回溯后的该目前配方档。

11.根据权利要求1所述的制程配方监控方法，其特征在于，存取经回溯后的该目前配方档至该资料库的步骤之前，包括以下步骤：

存取回溯前的该目前配方档。