[发明专利]一种MEMS芯片数控加工仪

权利要求书

1.一种MEMS芯片数控加工仪，包括仪器本体（1），所述仪器本体（1）的底面固定连接有基座（2），其特征在于：所述仪器本体（1）的内部安装有夹紧机构（3），所述基座（2）的右侧面安装有储藏机构（5），所述基座（3）的内部安装有移动机构（4），所述夹紧机构（3）包括第一旋转把手（301）、正反螺纹杆（303）、套环（304）、第一滑杆（302）、第一连接杆（307）、第一通孔（308）、施压把手（309）、第一压力弹簧（306）、吸压板（305）、衬套（310）、第一通槽（312）和第一轴承（311），所述仪器本体（1）的左侧面设有第一旋转把手（301），所述第一旋转把手（301）右侧面的底部固定连接有正反螺纹杆（303），所述正反螺纹杆（303）远离第一旋转把手（301）贯穿仪器本体（1）并延伸至仪器本体（1）的内部。

2.根据权利要求1所述的一种MEMS芯片数控加工仪，其特征在于：所述仪器本体（1）的内侧壁固定镶嵌有第一轴承（311），所述正反螺纹杆（303）的外表面与第一轴承（311）的内圈固定连接，所述仪器本体（1）的内壁固定连接有第一滑杆（302），所述第一滑杆（302）的外表面套设有两个套环（304），所述套环（304）的内圈与第一滑杆（302）的外表面相接触，所述套环（304）的底面开设有螺纹，所述仪器本体（1）的上表面开设有第一通槽（312），两个所述套环（304）的上表面均固定连接有第一连接杆（307），所述第一连接杆（307）的顶端贯穿第一通槽（312）并延伸至仪器本体（1）的上方，所述第一连接杆（307）的内部开设有第一通孔（308），两个所述第一连接杆（307）相互远离的一侧面固定设有施压把手（309）。

3.根据权利要求2所述的一种MEMS芯片数控加工仪，其特征在于：所述施压把手（309）的一端贯穿第一通孔（308）并延伸至第一连接杆（307）的外表面，两个所述施压把手（308）相互靠近的一端均固定连接有吸压板（305），且两个吸压板（305）相互远离的一侧面均固定连接有压力弹簧（306），所述压力弹簧（306）远离吸压板（305）的一端与第一连接杆（307）的外表面固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种MEMS芯片数控加工仪，其特征在于：所述移动机构（4）包括基座（2）、放置板（401）、双轴电机（402）、第一滑槽（403）、第一滑块（404）、挤压板（405）、螺环（406）、缓冲垫（407）、第二连接杆（408）、软质垫（409）、固定块（410）、第二滑槽（411）、滑轮（412）、第一螺纹杆（413）、支撑腿（414）、压缩弹簧（415）、脚轮（416）、底脚（417）和第二通孔（418），所述基座（2）内顶壁的中部固定连接有放置板（401），所述放置板（401）的底面固定连接有双轴电机（402），所述双轴电机（402）的输出端固定连接有第一螺纹杆（413），所述第一螺纹杆（413）的外表面套设有螺环（406），且螺环（406）的内圈与第一螺纹杆（413）的外表面螺纹连接，所述螺环（406）的上表面固定连接有第一滑块（404），所述基座（2）的内顶壁开设有两个相对称的第一滑槽（403），且第一滑块（404）远离螺环（406）的一端卡接在第第一滑槽（403）的内部，所述螺环（406）的底面固定连接有第二连接杆（408），所述第二连接杆（408）的一端通过销轴固定铰接有滑轮（412），且两个第二连接杆（408）相互远离的一端设有固定块（410），所述固定块（410）的内部开设有第二滑槽（411），且第二连接杆（408）的一端贯穿固定块（410）并延伸至第二滑槽（411）的内部，所述滑轮（412）的外表面与第二滑槽（411）的内部相接触，所述固定块（410）的底面固定连接有挤压板（405），所述挤压板（405）的底面固定连接有两个相对称的支撑腿（414），两个所述支撑腿（414）的底面通过销轴固定铰接有脚轮（416），所述基座（2）的底面开设有与脚轮（416）相适配的第二通孔（418），所述挤压板（405）中部的底面固定连接有压缩弹簧（415），所述基座（2）的底面固定连接有两个相对称的底脚（417）。