[发明专利]一种氮化渗铬层、其制备方法及应用有效
申请号: | 201810758484.4 | 申请日: | 2018-07-11 |
公开(公告)号: | CN110714182B | 公开(公告)日: | 2021-11-02 |
发明(设计)人: | 张学东;姜欣;蒲吉斌;王立平 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
主分类号: | C23C12/00 | 分类号: | C23C12/00 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 王茹;王锋 |
地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氮化 渗铬层 制备 方法 应用 | ||
1.一种氮化渗铬层的制备方法,其特征在于包括:
采用辉光离子氮化技术,将经预处理过的基材置于真空环境内,离子轰击活化,同时进行加热,且在升温至380~400℃时通入NH3,之后继续升温至辉光氮化温度450~500℃,并控制辉光电压为600~700V,从而至少在基材表层形成氮化层;
采用真空渗铬技术,以渗铬剂将至少表层形成有氮化层的基材掩埋后,再置于真空热处理炉的反应腔室内,之后抽真空至真空度达到0.1Pa以上时,再通入惰性气体,形成保护性气氛,且以10~20℃/min的升温速率升温至280~300℃,保温2~3h,其中,所述渗铬剂包含铬49~60wt%、氢氧化铝40~49wt%和氯化铵1~2wt%;
使所述反应腔室内温度以5~10℃/min的速率从280~300℃升温至600~650℃,保温2~3h;
使所述反应腔室内温度以5~10℃/min的速率从600~650℃升温至1020~1070℃,保温10~13h,从而形成氮化渗铬层;
所述氮化渗铬层以Cr2N相为主,所述氮化渗铬层的表面硬度HV0.3值大于1200,在大气中的摩擦系数在0.3以下,磨损率在10-7mm/N·m以下。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述氮化层的厚度为40~120μm。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于具体包括:
(1)将基材置于辉光离子氮化设备的反应腔室内,边抽真空边加热;
(2)使所述反应腔室内温度以10~15℃/min的速率从室温升温至380~400℃;
(3)通入高纯NH3,同时反应腔室内温度以10~20℃/min的速率从380~400℃升温至辉光氮化温度450~500℃;
(4)保温23~26h,且控制辉光电压为600~700V,从而在基材表层形成氮化层。
4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于包括:在所述步骤(3)中,所述NH3的流量为1.0~2.2L/min;所述制备方法包括:在所述步骤(3)中,所述辉光氮化温度为450~500℃;所述制备方法还包括:在所述步骤(4)结束后,使所述反应腔室内温度以3~10℃/min的速率从450~500℃降温至380~400℃,并切断NH3通入,之后冷却。
5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述铬的粒度为200~220目。
6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于还包括:在形成氮化渗铬层的步骤结束后,使所述反应腔室内温度以5~10℃/min的速率从1020~1070℃降温至600~650℃,并保温2~3h,之后冷却。
7.根据权利要求1-6中任一项所述的制备方法,其特征在于还包括:在进行所述辉光离子氮化处理之前,先对基材进行预处理;所述预处理包括:对所述基材表面进行清洗处理。
8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述清洗处理包括:以石油醚、丙酮和无水乙醇对所述基材进行超声清洗,并吹干。
9.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述氮化渗铬层的厚度40~80μm。
10.一种材料,包括基材,其特征在于:所述基材上还设置有由权利要求1-9中任一项所述方法制备的氮化渗铬层。
11.根据权利要求10所述的材料,其特征在于:所述基材为不锈钢基材。
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