[发明专利]一种微纳米石英晶体的真空烤箱加热与冷却装置在审
| 申请号： | 201810758883.0 | 申请日： | 2018-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN108895775A | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 李刚炎;岳思齐;喻信东;胡剑;黄大勇 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学;湖北泰晶电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B5/04;F26B23/06;F26B25/00;F25D1/02 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 徐员兰;汪玮华 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 热电偶 加热 壳体内部 冷却水管 石英晶体 玻璃管 微纳米 烤箱 加热系统 壳体侧壁 壳体顶部 冷却系统 冷却装置 引入电极 真空烤箱 加热丝 陶瓷块 盘架 数组 真空计接口 氮气填充 工业加热 壳体底板 壳体外部 纵向排列 排气口 布设 引入 壳体 空腔 冷却 | ||
【权利要求书】：
1.一种微纳米石英晶体的真空烤箱加热与冷却装置，其特征在于，包括壳体、加热系统、冷却系统，所述壳体顶部设有真空计接口、热电偶引入接口、氮气填充接口，壳体侧壁底部设有排气口；加热系统设于壳体内部空腔，包括加热引入电极、数组加热丝、陶瓷块、玻璃管、数个热电偶，所述加热引入电极设于壳体顶部，所述数组加热丝分别设于玻璃管内，玻璃管纵向排列，通过陶瓷块固定于烤箱盘架上，所述数个热电偶设于热电偶引入接口；所述冷却系统包括壳体外部冷却水管和壳体内部冷却水管，所述壳体外部冷却水管布设于壳体侧壁外表面上，所述壳体内部冷却水管左右对称设于烤箱盘架两侧，壳体内部冷却水管底部固定于壳体底板上。
2.根据权利要求1所述的一种微纳米石英晶体的真空烤箱加热与冷却装置，其特征在于，所述加热丝分为上、中、下三组，所述热电偶为三个，分别测量所述上、中、下三组加热丝的温度，三个热电偶通过线缆与PLC控制器温控模块相连，所述加热引入电极为三个，分别与三组加热丝相连。
3.根据权利要求1所述的一种微纳米石英晶体的真空烤箱加热与冷却装置，其特征在于，所述壳体外部冷却水管的截面为方形。
4.根据权利要求1所述的一种微纳米石英晶体的真空烤箱加热与冷却装置，其特征在于，所述壳体内部冷却水管为多道折弯管，两端头连接波纹管。
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