[发明专利]一种反射滤光片

权利要求书

1.一种反射滤光片，其特征在于，所述反射滤光片包括衬底以及依次位于所述衬底上的第一金属层、吸收介质层和第二金属层，其中，所述第一金属层、所述吸收介质层以及所述第二金属层组成光学谐振腔，用于选择性的吸收特定波长的光或者反射特定波长的光。

2.根据权利要求1所述的反射滤光片，其特征在于，所述吸收介质层的制造材料至少包括非晶硅、晶体硅、非晶锗、三氧化二铁、氮化钛、氧化铜、氧化亚铜、硫化锌、硫化硒、氧化钛、氧化铌、氧化锆、氧化锌、氧化铝、氧化硅中的一种。

3.根据权利要求2所述的反射滤光片，其特征在于，所述吸收介质层的厚度和吸收光的波长相关，其吸收能力小于等于其中,c为光速，ε₀为自由空间的介电常数，n为折射率的实部，为消光系数，α为吸收介质的吸收系数，E(x,λ)表示电场E是x和λ的函数，x为吸收介质层沿着厚度方向的位置，λ为波长。

4.根据权利要求1所述的反射滤光片，其特征在于，所述第一金属层的厚度大于所述第二金属层的厚度，其中，所述第二金属层用于使入射光穿透第二金属层并进入所述光学谐振腔内产生谐振，所述第一金属层用于反射所述入射光。

5.根据权利要求3所述的反射滤光片，其特征在于，所述第一金属层和所述第二金属层的制造材料相同，至少包括银、金、铜、铝、铬、铊、钨、镍、钼、钛、铌、钴、钯、钒中的一种。

6.根据权利要求4所述的反射滤光片，其特征在于,所述第二金属层的厚度范围为5-50nm。

7.根据权利要求4所述的反射滤光片，其特征在于，所述第一金属层的厚度范围为50-200nm。

8.根据权利要求4所述的反射滤光片，其特征在于，所述反射滤光片还包括位于所述第二金属层和所述吸收介质层之间的润湿层，所述润湿层用于促进所述第二金属层成膜，减少结构散射。

9.根据权利要求7所述的反射滤光片，其特征在于，所述润湿层的制造材料为有机材料PTCBI、半导体材料锗、金属材料铜、铝中的至少一种，厚度范围为2-10nm。

10.根据权利要求3所述的反射滤光片，其特征在于，所述吸收介质层对应于青色、紫红色、黄色的厚度值分别为34nm、20nm、14nm。